Occasion CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9397057 à vendre en France

CANON/ANELVA COSMOS I-1201 est un type de réacteur conçu pour des applications telles que la gravure et le dépôt dans l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un type d'équipement de gravure d'ions, constitué d'une chambre cylindrique avec les sources et le substrat placés à l'intérieur, et le flux de gaz et d'autres systèmes auxiliaires autour de lui. La chambre est divisée en une chambre de réaction principale qui comporte les sources, ainsi que plusieurs chambres secondaires qui sont utilisées pour le contrôle du débit de gaz et des fonctions auxiliaires. La chambre de réaction principale est de forme cylindrique et en acier inoxydable. Il a un diamètre de 12 pouces et une longueur de 16 pouces, avec une hauteur active de 12 pouces. Il est capable de fonctionner à des pressions comprises entre 1,3 × 10-4 Pa et 0,6 Pa. Il peut être chauffé de la température ambiante jusqu'à 1000 degrés Celsius avec une tension d'accélération allant jusqu'à 20 kV. Les composants principaux de la chambre comprennent une paire de pôles d'ions électrostatiques et un filtre à ions. Les pôles créent un fort champ électrique qui permet d'ioniser et d'accélérer les ions vers le substrat, qui est maintenu en place par un porte-échantillon magnétiquement levé. Le filtre à ions ne laisse passer que des particules chargées, contrôlant ainsi le type de matériau en cours de dépôt ou de gravure. CANON COSMOS I-1201 est livré avec un ensemble de gaz, tels que l'argon, le trichlorure de bore, l'hexafluorure de soufre et l'hydrogène sulfuré, ainsi qu'une alimentation électrique et divers autres accessoires. Le système comporte également un débit de gaz réglable, qui peut être réglé de 0,1 à 100 centimètres cubes par minute, ainsi qu'un débit de gaz réglable, qui permet de contrôler l'angle de dépôt ou de gravure. L'unité est livrée avec un logiciel qui permet de personnaliser les paramètres de gravure et de dépôt, ainsi que de contrôler la machine et de surveiller ses performances. Le logiciel dispose également d'une interface utilisateur graphique qui permet un fonctionnement facile d'ANELVA COSMOS I-1201. Globalement, COSMOS I-1201 est un réacteur précis et polyvalent qui convient à une grande variété de procédés dans l'industrie des semi-conducteurs tels que la gravure et le dépôt. Son design est bien adapté pour un travail de haute qualité et de faible volume. Il est également relativement simple et facile à utiliser, ce qui en fait un outil utile pour ceux qui ont besoin d'exécuter leurs processus rapidement et efficacement.