Occasion CANON / ANELVA FC-3100 #9292992 à vendre en France

CANON/ANELVA FC-3100 est un réacteur de gravure électrochimique verticale avancée conçu spécifiquement pour les procédés de gravure photorésist à haut débit. Cet équipement est conçu pour fournir aux utilisateurs une grande précision du point d'extrémité et une couverture critique de l'écart d'uniformité. Le système comprend une gamme complète de fonctionnalités pour répondre aux besoins de haute précision des MEM et de la fabrication de circuits intégrés. CANON FC-3100 comporte une unité de gravure électrochimique dans laquelle une anode de titane platinisée et une cathode en acier inoxydable sont placées dans une plaque distributeur de titane platinisée. L'anode et la cathode sont reliées à une source d'alimentation en courant continu, permettant le passage d'un courant électrique entre elles. Le contrôle de la densité de courant, de l'exposition et de la composition électrolytique permet aux utilisateurs de graver avec précision les couches épaisses de résine photosensible. ANELVA FC-3100 comprend un réacteur à quartz à haut débit pour une gravure efficace. Ce réacteur peut accueillir jusqu'à quatre plaquettes de 150 mm à la fois, ce qui permet une production à haut rendement. La chambre du réacteur est conçue pour maintenir des conditions de processus avec un excellent contrôle de la température, ce qui permet une gravure uniforme de toutes les plaquettes. La machine dispose également de capacités intégrées de surveillance et de contrôle des processus. Cela comprend un outil d'injection de gaz inerte et l'enregistrement de données contrôlé par ordinateur qui permet aux utilisateurs d'optimiser leur processus et de maintenir une excellente couverture des lacunes critiques. Dans l'ensemble, FC-3100 est un réacteur de gravure électrochimique verticale avancé avec une gamme de fonctionnalités pour aider les utilisateurs à réaliser des processus de gravure de haut débit et de précision. Il est équipé d'un réacteur à quartz efficace, d'un contrôle d'injection de gaz inerte, d'une journalisation des données contrôlée par ordinateur et de capacités de surveillance des processus, ce qui permet aux utilisateurs d'obtenir une précision de fin élevée et une couverture des lacunes critiques d'uniformité tout au long du processus de gravure.