Occasion CANON / ANELVA FC 7100 #9293805 à vendre en France

CANON/ANELVA FC 7100 est un ion etcher réactif de haute qualité (RIE) habituellement utilisé dans les procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le réacteur est conçu pour un contrôle très précis et précis du processus de gravure, permettant un contrôle optimal et l'uniformité de la qualité de surface. Il est constitué d'une chambre tubulaire, qui est reliée à une vanne à impulsion rotative permettant une bonne rotation des mélanges gazeux pour une application précise de l'agent de gravure. La chambre est pressurisée avec de l'azote, ce qui permet un meilleur contrôle de l'environnement et des conditions à l'intérieur. La pression de vide est maintenue par une pompe turbo-moléculaire robuste, qui assure également une accélération intense des particules chargées, augmente la vitesse de gravure et assure un processus de gravure en douceur. De plus, un compositeur chimique à basse pression auto-généré est intégré dans la chambre, fournissant un apport continu d'espèces réactives tout au long du processus de gravure, permettant un contrôle précis et précis de la vitesse de gravure. Le plasma de gravure est créé par un générateur RF haute densité 13,56 MHz qui fournit un plasma stable entre 0,2 et 2 Torr, selon les mélanges gazeux utilisés. Le générateur RF est alimenté par une alimentation solide de haute puissance avec un niveau de sortie réglable compris entre 0 et 1000 W. Une entrée de puissance adéquate assure une gravure uniforme, offrant ainsi une qualité de surface de gravure uniforme. Un système moderne de régulation de la tension et de la fréquence contrôlé par microprocesseur garantit un processus de gravure en douceur. Une conception avancée de chambre de réaction permet une grande variété de paramètres de gravure et de mélanges gazeux tels que O2, BCl3, Cl2, CF4, CHF3, NF3 et Ar. Afin de sécuriser une gravure homogène sur l'ensemble de l'échantillon, la chambre est équipée d'un dispositif basse pression qui assure la même vitesse de gravure quelle que soit la surface de l'échantillon. CANON FC 7100 convient à une large gamme de matériaux, y compris le silicium, les métaux, les nitrures, les oxydes, les photorésistances et le carbone diamant. ANELVA FC7100 est un réacteur puissant et fiable avec une performance fiable qui peut être adapté à une variété d'exigences de gravure, fournissant une qualité de surface de haute qualité. Avec sa combinaison d'une technologie de génération RF avancée, d'une alimentation solide de haute puissance et de diverses autres caractéristiques, ANELVA FC 7100 assure une gravure à haut rendement et un contrôle précis du processus de gravure. C'est une solution économiquement efficace pour les besoins quotidiens de gravure qui exigent des résultats cohérents et de haute qualité.