Occasion CANON / ANELVA FC 7100 #9400031 à vendre en France

CANON/ANELVA FC 7100 est un réacteur haute performance conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une conception cylindrique unique avec débit pour un coût beaucoup moins élevé et une empreinte plus faible par rapport aux réacteurs traditionnels. Ce réacteur utilise un mandrin en diamant chauffé pour sécuriser les plaquettes, fournissant une surface plane stable et cohérente pour le traitement. Le CANON FC 7100 est particulièrement adapté au traitement des plaquettes de 200mm (8 pouces) et 300mm (12 pouces), avec un mécanisme d'entraînement du moteur à couple à ondes planaires spécialisé pour un fonctionnement fiable et précis. Il utilise des aligneurs de balayage intégrés pour vérifier la précision lors des processus d'alignement et de balisage. Ces processus peuvent se produire à haute température jusqu'à 900℃. De plus, ce réacteur dispose d'un grand port de visualisation de quartz pour inspecter le traitement des plaquettes pendant la microfabrication. La fenêtre de visualisation est également munie d'une couche antireflet et est reliée par une ligne de masse isolée, offrant une protection complète contre le bruit électrique lors du déplacement des plaquettes. Le réacteur ANELVA FC7100 est conçu avec une interface conviviale, permettant aux opérateurs de contrôler ou de surveiller facilement les conditions de traitement avec jusqu'à 16 paramètres réglables. Il comprend également un chauffe-plaques pour assurer un contrôle précis de la température lors des processus de gravure, de dépôt et de nettoyage. Plusieurs supports de plaquettes peuvent être installés dans CANON FC7100 en fonction des exigences du processus de microfabrication. Par exemple, pour l'application de plaquettes de silicium, les supports peuvent être équipés d'une plaque de carbure de silicium comme base pour améliorer le rendement et offrir une meilleure finition de surface. De plus, CANON/ANELVA FC7100 prend en charge plusieurs systèmes de transfert de plaquettes, dont un chargeur et un déchargeur automatisé. Les systèmes compatibles peuvent être connectés à la console principale pour faciliter le contrôle et le rechargement des plaquettes dans et hors du réacteur. En conclusion, FC 7100 fournit une solution efficace et flexible pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa conception solide et conviviale et ses caractéristiques avancées, y compris les aligneurs intégrés, le chauffage à plaque chaude et la fenêtre de visualisation améliorée, en font un choix approprié pour les petites et grandes exigences de production.