Occasion CANON / ANELVA I-1201 CX #9150529 à vendre en France

CANON/ANELVA I-1201 CX est un réacteur multifonctionnel conçu pour diverses applications industrielles, telles que la gravure des pulvérisateurs, le traitement des semi-conducteurs et d'autres opérations de traitement de surface. Il s'agit d'un réacteur de taille moyenne à grande avec un corps cylindrique en acier inoxydable et muni d'un fond conique et d'un toit incliné, ce qui confère au réacteur un haut degré de stabilité et de protection contre les turbulences. Il offre également une excellente uniformité du champ plasma assurant une gravure uniforme sur toute la surface. CANON I-1201 CX est habituellement utilisé dans un environnement à vide ultra-élevé, mais peut également être utilisé dans un cadre à vide faible. Il dispose d'une alimentation RF de 5,5 kW avec des capacités avancées de contrôle de processus pour ajuster la puissance en fonction des exigences du processus. Il est également livré avec une alimentation de 5,5 kW de polarisation DC qui aide à réduire le taux de dépôt. D'autres caractéristiques d'ANELVA I-1201 CX comprennent une fenêtre en quartz, un port de visualisation du plasma et une entrée de gaz de procédé contrôlée par obturateur, offrant un excellent contrôle du procédé et la stabilité pour des performances répétées et constantes de traitement de surface. Il dispose également d'un écran d'anode qui protège l'électrode supérieure du plasma et permet un espacement généreux de l'électrode inférieure pour un meilleur contrôle du procédé. I-1201 CX dispose d'un système avancé de contrôle de la puissance/gaz, permettant à l'opérateur de contrôler précisément le rapport de puissance gaz/RF pour optimiser les résultats du processus. Il comprend des diagnostics avancés avec des fonctionnalités évolutives telles que la détection de défauts, la surveillance des processus, la surcharge de sécurité, et d'autres caractéristiques connexes. Les diagnostics avancés permettent également à l'opérateur d'optimiser les paramètres du processus pour une plus grande efficacité et une meilleure qualité du produit. CANON/ANELVA I-1201 CX est un réacteur polyvalent, robuste et fiable conçu pour assurer des opérations de traitement de surface cohérentes, même dans les applications industrielles les plus exigeantes. Sa durabilité et sa flexibilité en font le choix idéal pour les opérations de transformation industrielle de moyenne à grande échelle. Sa technologie de pointe et ses caractéristiques de sécurité en font une solution fiable et économique pour divers traitements de surface.