Occasion CSD EPITAXY EpiPro 5000 #293771200 à vendre en France
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ID: 293771200
Style Vintage: 2008
EPI Reactor
(2) Susceptors, 6"
PILLAR RF Generator, 250 kW
PILLAR Heat exchanger
UPS
NORCIMBUS TCS Minibubbler
Gases: HCL, H2
N2 Purge
Gases dopant 1: PH3 / H2 Mix
Gases dopant 2: B2H6 /H2 Mix
Aux dopant: PH3 / H2 Mix
Belljar station
2008 vintage.
CSD EPITAXY EpiPro 5000 est un réacteur d'épitaxie de pointe spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs optoélectroniques avancés. Sa conception modulaire unique permet une installation facile et des configurations flexibles pour répondre à divers besoins technologiques. Le réacteur a été spécialement conçu pour permettre un fonctionnement convivial, tout en optimisant les performances. Le réacteur d'épitaxie utilise une solution spécialement conçue en boucle fermée avec des flux gazeux multiples, permettant de maintenir la chambre de procédé dans un environnement optimal. La linéarisation de la température de précision est réalisée en trois zones, permettant un contrôle précis des performances de fluxation du dopant. Le réacteur comporte un contrôle automatique du flux de dopage, et une température maximale de 1250 ° C La chambre de procédé dispose également d'un revêtement amovible, ce qui facilite l'entretien et le nettoyage. EpiPro 5000 est équipé d'un équipement automatisé de levage de charge, pour un transfert sûr et rapide des plaquettes dans la chambre de processus. Le système de contrôle numérique est facile à utiliser et permet des réglages précis pour les débits de gaz, la température et la pression. De plus, l'unité à quartz impulsionnel avancée permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres du processus à tout moment pour une meilleure stabilité du processus. CSD EPITAXY EpiPro 5000 dispose d'un gaz de protection personnalisable pour la protection contre la contamination des objets étrangers. La machine à pression constante maintient une chambre étanche, minimisant les taux de fuite et optimisant l'environnement de traitement. La paroi intérieure de la chambre est en acier inoxydable, offrant une durabilité et d'excellentes performances. EpiPro 5000 dispose également d'un outil de sécurité complet, assurant un fonctionnement sûr en tout temps. L'actif comprend des capteurs de température et de pression, ainsi que de multiples avertisseurs et feux stop. La surveillance en temps réel assure que le réacteur reste en état de pointe pendant le fonctionnement. Le logiciel intuitif et le modèle de contrôle permettent également aux utilisateurs de surveiller et d'exploiter à distance CSD EPITAXY EpiPro 5000. En conclusion, EpiPro 5000 est un réacteur polyvalent, avec des caractéristiques fiables et conviviales pour une précision et des performances imbattables. Les fonctionnalités avancées et les paramètres de fonctionnement personnalisables font de ce réacteur d'épitaxie un excellent choix pour la fabrication avancée de dispositifs optoélectroniques.
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