Occasion INTEVAC Matrix #9288407 à vendre en France

INTEVAC Matrix est un réacteur très efficace et économique spécialement conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices et des matériaux avancés. Il dispose d'une grande surface de substrat et d'une uniformité de température améliorée pour une reproductibilité étanche des procédés. Le vide inerte permet de fonctionner à des températures et des vitesses élevées, ce qui permet au réacteur de fonctionner avec des temps de cycle beaucoup plus courts que les systèmes de traitement à base de solvants manuels. Au cœur, Matrix est un équipement exclusif de chambre à double vide à quartz. Le système de chambre combine une chambre primaire à ultra-haut vide (UHV) et une chambre secondaire réactive. Cette technologie à deux chambres permet un contrôle sophistiqué du traitement des plaquettes. La chambre primaire est utilisée pour le dépôt physique en phase vapeur et la gravure, tandis que la chambre secondaire est équipée d'une unité de chauffage par induction RF qui peut être utilisée pour le traitement thermique de matériaux tels que des diélectriques haut k et bas k. Cette architecture à double chambre élimine également le besoin d'une machine de transfert, ce qui augmente la productivité et réduit les coûts de fonctionnement. INTEVAC Matrix est conçu dans un souci de sécurité. Toutes les conditions de fonctionnement et les enregistrements d'alarme peuvent être surveillés à distance à l'aide de l'outil de télémétrie embarqué. Le réacteur est également équipé d'emboîtements et de systèmes d'autodiagnostic conçus pour réduire le risque d'exposition à des matières dangereuses. En termes de matériel, Matrix est équipé de fonctionnalités telles qu'un outil de surveillance in situ, une surveillance automatisée des plaquettes, un modèle de refroidissement rapide, un équipement de chauffage inductif RF amélioré, un système de contrôle de pression amélioré et une unité de chargement automatisée entièrement intégrée. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour fournir une machine fiable et conviviale qui simplifie les cycles de processus et réduit le temps total de traitement. INTEVAC Matrix est extrêmement polyvalent, et est compatible avec une variété de recettes de processus avancées. Il est capable d'un large éventail de produits chimiques tels que l'oxydation thermique, le dépôt de nitrures, la gravure par pulvérisation et la photolithographie. Dans l'ensemble, Matrix est un réacteur avancé et efficace qui est idéal pour le traitement de semi-conducteurs et d'autres matériaux avancés. Sa conception très efficace le rend idéal pour la reproductibilité des processus dans le temps. INTEVAC Matrix est conçu pour fonctionner de manière sûre et fiable, tout en offrant aux utilisateurs un ensemble complet de fonctionnalités et de capacités. C'est le choix idéal pour les laboratoires et les installations de production qui exigent une reproductibilité et une répétabilité exceptionnelles.