Occasion INTEVAC Vertex Spectra Y09 #293626646 à vendre en France

INTEVAC Vertex Spectra Y09 est un réacteur de haute puissance HF-CVD (Hot Filament Chemical Vapor Deposition) utilisé pour le dépôt de divers matériaux, dont le cuivre, les alliages de cuivre et les alliages de cuivre et de cobalt. Le réacteur utilise deux canons à faisceau d'électrons fonctionnant indépendamment et simultanément, associés à une nouvelle source de plasma préformée. Ces caractéristiques permettent le dépôt de films semi-conducteurs de conception précise à haut débit, avec une variation de vitesse de dépôt minimisée. Le réacteur offre le niveau ultime de flexibilité du procédé, en utilisant trois sources de chauffage indépendantes générées dans la chambre à vide. La source de plasma préformée fournit une décharge stable de forte puissance qui permet le dépôt de films uniformes et précisément réalisés, avec une rugosité superficielle minimisée. Ceci permet également un meilleur contrôle du taux de croissance et du potentiel chimique des films, car il permet l'oxydation de la surface du substrat avant le processus de dépôt. Les canons à faisceau d'électrons sont capables de délivrer jusqu'à 37 kW de puissance, avec une forte densité de courant d'émission pour le dépôt de films à haut rapport d'aspect à des taux de dépôt élevés. Il en résulte des films de haute visibilité bien adhérents sur leurs couches sous-jacentes, avec une densité de défauts extrêmement faible. Les canons à faisceau d'électrons offrent également un haut niveau de contrôlabilité, donnant à l'utilisateur toute la flexibilité lors de la définition des paramètres du processus. Les épaisseurs de la couche traitable varient de 10 nm à 1 μ m, avec une granulométrie minimale de 1 μ m. Les dimensions de la chambre de Vertex Spectra Y09 sont de 500 mm de diamètre x 580 mm de hauteur et l'atmosphère de volume interne est un typique 5 mTorr. Il est alimenté par une pompe haute pression 3400 L, qui fournit une vitesse de pompage sous vide rapide et une meilleure stabilité de la pression de la chambre. L'accès à l'entrée de gaz est au sommet de la chambre, et il y a un mécanisme linéaire de transfert des plaquettes tunnel pour le chargement des plaquettes. INTEVAC Vertex Spectra Y09 offre un logiciel PC sophistiqué et convivial avec des paramètres automatisés pour une configuration facile des processus. De plus, il offre une mémoire haute capacité pour le stockage de données de grande capacité, ce qui facilite le suivi et l'analyse des performances passées du processus. L'appareil est également conforme aux normes de sécurité et de protection de l'environnement, y compris la certification CE et ISO 13485. Vertex Spectra Y09 offre un procédé de dépôt flexible et de haute qualité pour les applications de recherche et de fabrication.