Occasion JEL / JUSUNG PECVD Module for Solutera #293744918 à vendre en France
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ID: 293744918
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 2011
5"
(2) ADIXEN 1803
(2) ADIXEN AD30L
2011 vintage.
JEL/JUSUNG PECVD Module for Solutera est un équipement de réacteur de pointe spécialement conçu pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) enrichis par plasma dans l'industrie des semi-conducteurs. PECVD est une technologie de fabrication critique utilisée pour déposer des couches minces de divers matériaux sur des substrats, tels que des plaquettes de silicium, pour créer des composants électroniques tels que des circuits intégrés et des cellules photovoltaïques. JEL PECVD Module for Solutera offre des fonctionnalités et des capacités de pointe pour permettre un contrôle précis et une production à haut débit dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. La conception du réacteur intègre une configuration multi-chambres qui permet le dépôt de plusieurs couches de différents matériaux dans un environnement contrôlé, assurant des propriétés pelliculaires de haute qualité et une uniformité sur de grandes zones de substrat. Cette configuration modulaire permet une flexibilité dans la personnalisation et l'optimisation des processus, ce qui la rend adaptée à un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de JUSUNG PECVD Module pour Solutera est son système avancé de génération de plasma, qui utilise une source d'énergie RF haute fréquence pour créer une décharge de plasma dans la chambre de processus. Le plasma joue un rôle crucial dans le processus de dépôt en facilitant les réactions chimiques entre les gaz précurseurs et la surface du substrat, conduisant à la formation de couches minces aux propriétés recherchées. Le contrôle précis par le réacteur des paramètres plasmatiques, tels que les débits de gaz, la pression et la température, assure la reproductibilité et la cohérence dans le dépôt de film, crucial pour obtenir des performances et un rendement élevés du dispositif. En outre, le réacteur est équipé d'une unité sophistiquée de surveillance et de contrôle des procédés qui permet de réagir en temps réel et d'ajuster les paramètres du procédé pour maintenir des conditions optimales tout au long du processus de dépôt. Ceci garantit une grande stabilité et répétabilité des processus, essentielles pour la production en masse de dispositifs semi-conducteurs avec des spécifications et des exigences de qualité strictes. Le module PECVD pour Solutera dispose également d'une interface conviviale et d'une machine de contrôle logiciel qui permettent une programmation et un fonctionnement faciles du réacteur, le rendant accessible aux utilisateurs experts et aux opérateurs ayant une formation minimale. L'outil prend en charge l'automatisation et l'intégration avec des équipements externes, offrant une connectivité et un échange de données transparents pour des flux de travail de fabrication simplifiés. En termes de performances, le réacteur offre des taux de dépôt et une qualité de film élevés, grâce à son apport efficace de gaz précurseurs et à une répartition plasma uniforme sur le substrat. Le réacteur peut accueillir divers gaz précurseurs et des recettes de procédés, permettant le dépôt d'une large gamme de matériaux, dont le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium et le silicium amorphe, entre autres. Dans l'ensemble, le module PECVD JEL/JUSUNG pour Solutera représente une solution de pointe pour les applications PECVD dans l'industrie des semi-conducteurs, offrant des fonctionnalités avancées, un contrôle précis et une productivité élevée pour répondre aux exigences exigeantes des procédés modernes de fabrication des semi-conducteurs. Grâce à sa conception innovante et à ses performances supérieures, le réacteur est prêt à jouer un rôle crucial dans le progrès de la technologie des semi-conducteurs et le développement de dispositifs électroniques de nouvelle génération.
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