Occasion LAM RESEARCH C3 Ice mod #293659339 à vendre en France

LAM RESEARCH C3 Ice mod est un réacteur de gravure plasma à haut rendement, à faible coût, capable de graver avec précision les matériaux minces et métalliques. C'est un équipement compact et économique qui a été conçu pour être utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres produits électroniques. Les alimentations de C3 Ice mod sont capables de générer jusqu'à 650 ° C de plasmas à haute température, ce qui le rend idéal pour le recuit à haute température, la gravure métallique de précision et le dépôt de film anodique. Le système comprend quatre composantes : le contrôleur d'interface modulaire (MIC), l'ordinateur central, l'alimentation modulaire (MPS) et deux unités de contrôle des sources d'ions (ISC). Le MIC est l'unité centrale responsable du contrôle global et de l'automatisation de l'unité. Il est responsable du contrôle et de la surveillance de tous les paramètres de la machine tels que la température du procédé, la pression, le débit et la pression du gaz, et les réglages de l'alimentation électrique. L'ordinateur central contient les composants de la chambre, les pompes à vide, les sous-systèmes de refroidissement, les systèmes de sécurité et les sources de faisceau d'ions, etc. Le MPS est responsable de la génération du plasma basse tension et haute température pour le processus de gravure. L'unité ISC est responsable de la génération de faisceaux plasmatiques à haut courant et du refroidissement des substrats. LAM RESEARCH C3 Ice mod est équipé de deux chambres à vide et peut accueillir jusqu'à six substrats. L'outil est compatible avec une variété de produits chimiques tels que l'oxygène, l'argon, l'azote et le chlore. Il est capable de contrôler les profondeurs de gravure et les profondeurs des caractéristiques avec une précision de 1 micron. C3 Ice mod dispose d'un atout automatisé de livraison de gaz pour le contrôle précis des flux de gaz de gravure. Il dispose également d'un générateur RF réglable pour un contrôle précis des paramètres plasmatiques tels que la pression, la température et l'accélération du faisceau d'ions. LAM RESEARCH C3 Ice mod est également équipé d'une gamme d'instruments de diagnostic tels que la spectroscopie d'émission optique et la spectrométrie de masse. Cela permet de déterminer avec précision les vitesses de gravure, la profondeur de gravure, l'épaisseur du substrat, l'adhérence du film, les caractéristiques électriques et d'autres paramètres du procédé. C3 Ice mod est très efficace et économique et offre une excellente répétabilité et précision dans la production de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme.