Occasion LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9316183 à vendre en France

LAM RESEARCH Dual Sola Excel est un réacteur à paroi chaude à réaction thermique très efficace et optimisé conçu pour les processus de gravure et de dépôt. Il s'agit d'un réacteur à deux chambres avec une chambre dédiée à la gravure et l'autre au dépôt. Les chambres sont séparées par une chambre en céramique à triple paroi logeant une source de film mince. Ceci assure une efficacité maximale en éliminant le contact direct entre la source et la chambre de procédé. La chambre de réaction est recouverte d'un blindage conforme en acier inoxydable très réfléchissant pour une efficacité maximale. La chambre de réaction comporte également une anode et une cathode pour la chambre à plasma et une disposition pour introduire des dopants et des gaz de trempe. La cuve du procédé est agitée par des agitateurs magnétiques à commande de fréquence pour assurer l'uniformité du procédé. La cuve de procédé est équipée d'un système intégré d'évacuation des gaz qui permet l'évacuation de la cuve de procédé avant et après le processus. Dual Sola Excel est conçu pour la gravure à haut débit et le processus de dépôt pour des niveaux de production élevés avec une faible gravure-retour. Il est parfait pour la gravure et le dépôt de couches minces de dioxyde de silicium et d'autres matériaux dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. La double chambre permet une gestion efficace du procédé afin de maintenir le bon procédé de gravure ou de dépôt. Le système de chauffage assure une température uniforme dans toute la chambre de réaction thermique. Le réacteur thermique est entouré d'un système de régulation de température de précision assurant la cohérence de la température dans la chambre de réaction. Il peut également être surveillé à distance, permettant un excellent contrôle et la commodité. LAM RESEARCH Dual Sola Excel dispose également d'un générateur RF intégré, permettant de réaliser divers procédés de gravure et de dépôt à l'aide du générateur. Le réfrigérateur est sous pression d'azote et permet une plage de température de -60 à 120 degrés Celsius. Il peut également être utilisé pour l'évaporation métallique avec un contrôle précis de l'humidité et de la température. Dans l'ensemble, Dual Sola Excel est un réacteur à rôle thermique efficace et précis pour les processus de gravure et de dépôt dans l'industrie des semi-conducteurs. Il permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler avec précision le processus, en assurant des résultats cohérents et optimaux. Il est également adapté à l'évaporation des métaux et peut fonctionner avec un large éventail de matériaux.