Occasion LAM RESEARCH Inova NExT #9350861 à vendre en France
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ID: 9350861
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
PVD System, 12"
(3) Chambers
2005 vintage.
RECHERCHE LAM Inova NExT est un réacteur à plasma avancé à faible énergie qui permet la fabrication d'appareils électroniques de pointe. Inova NExT est conçu pour la fabrication de puces de nouvelle génération, telles que les transistors tridimensionnels (3D) et la mémoire flash. Il dispose d'un meilleur contrôle des processus des plates-formes de fabrication haute résolution, basse température et à rendement plus élevé. RECHERCHE LAM Inova NExT est équipé d'un générateur de radiofréquences (RF) et d'une source de plasma d'oxygène (O2) qui supporte le traitement parallèle des plaquettes à double face. Son générateur multi-sources multifréquence permet des processus précis de dépôt et de gravure du plasma. L'équipement de distribution de gaz à haut rendement d'INova NExT maintient des gaz résiduels faibles à la surface de la plaque, éliminant les particules et réduisant les contraintes, permettant des profils de dépôt de film uniformes et reproductibles. RECHERCHE LAM Le réacteur Inova NExT utilise une variété de capteurs optiques à haute résolution et de sondes pour la surveillance des processus en temps réel. Ses sondes électriques détectent et affichent la température, la pression et la vitesse de pulvérisation. Ses capacités avancées de contrôle des processus permettent une optimisation précise des étapes du processus et une amélioration globale du rendement. Inova NExT est conçu avec un système de pompe à vide très fiable et à faible entretien pour la collecte des gaz de la chambre. L'unité de livraison de gaz simplifiée assure un excellent contrôle des flux et des quantités de gaz et contribue à réduire la contamination. Sa machine RF blindée assure un dépôt homogène et n'endommage pas le matériel de contrôle en raison de l'IME. RECHERCHE LAM L'opération d'auto-nettoyage d'Inova NExT aide à maintenir la chambre de procédé propre et exempte de contaminants. Sa construction de chambre lourde est en acier inoxydable de série 300 et dispose d'une capacité thermique supérieure et d'une uniformité de chambre. Inova NExT taille de chambre peut être personnalisé pour s'adapter à n'importe quel processus de fabrication. RECHERCHE LAM Inova NExT peut être équipé d'une rotation à angle variable, d'une vue angulaire en temps réel avec des capteurs de niveau de la plaquette pour les températures, la pression et le débit de gaz, ainsi que de multiples zones de température active à l'intérieur de la chambre pour un meilleur contrôle de la température. Il est conçu pour un fonctionnement fiable à long terme et est capable de supporter des procédés de fabrication reproductibles et à haut rendement.
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