Occasion LAM RESEARCH Inova #293597136 à vendre en France
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ID: 293597136
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
System, 12"
2004 vintage.
LAM RESEARCH Inova est un équipement de graveur/asher conçu pour des applications de gravure plasma et ashing de précision. Il dispose d'un système avancé PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), capacité de double température et une large gamme de recettes pour la gravure ou l'ashing. L'unité offre une excellente uniformité et répétabilité pour la gravure ou la cueillette des plaquettes. Il dispose également d'une machine à caméra optique avancée qui surveille la plaquette pendant la gravure ou la cueillette et permet une rétroaction en temps réel sur les conditions de gravure ou de cueillette. L'outil Inova etcher/asher est conçu pour être un atout peu coûteux et performant pour la gravure et la cueillette du plasma. Il dispose d'un modèle de contrôle automatique de la densité de gaz qui permet un réglage précis de l'environnement plasmatique pour des résultats de gravure ou d'ashing fiables. L'équipement PECVD offre une gravure ou une cueillette uniforme sur les plaquettes en fournissant un environnement plasma contrôlé avec précision. RECHERCHE LAM Inova dispose d'une capacité à double température qui permet à l'utilisateur de sélectionner rapidement et facilement la température exacte nécessaire pour l'application de gravure ou de cueillette. L'option Double température permet un contrôle précis du processus de gravure ou de cueillette. Inova dispose également d'un système de caméra optique avancé qui surveille la plaquette pendant la gravure ou la cendre. Cela permet une rétroaction en temps réel sur les conditions de gravure ou de cueillette et fournit à l'utilisateur des informations détaillées sur le processus de gravure ou de cueillette. RECHERCHE LAM Inova propose une large gamme de recettes pour la gravure ou la cueillette qui donnent à l'utilisateur une gamme de différentes options de gravure ou de cueillette. Il dispose également d'une architecture de cassette automatisée qui augmente le débit, réduit les temps d'arrêt et fournit une lecture améliorée des données de gravure ou d'ashing. Il est ainsi plus facile pour l'utilisateur d'ajuster les conditions pour obtenir des résultats de gravure ou de cueillette optimaux. Inova est conçu pour être utilisé dans des procédés à haute température et sous vide, tels que la gravure plasma et le cendrage. Il est conçu pour fournir le plus haut niveau de précision, de répétabilité et d'uniformité tout en fournissant à l'utilisateur une gamme d'options de gravure ou de cueillette. Avec ses caractéristiques avancées et ses recettes, LAM RESEARCH Inova est le choix idéal pour tout processus de gravure ou d'ashing.
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