Occasion LAM RESEARCH Inova #293597139 à vendre en France

LAM RESEARCH Inova est un équipement de haute performance pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système à la fine pointe de la technologie a été conçu pour le traitement par lots à haut volume de substrats et dispose d'une conception en chambre fermée à haut débit pour la production. Il a une capacité intégrée pour la gravure induite par le gaz et le plasma, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications de gravure avancées. La conception de chambre d'Inova est composée de deux chambres à vide qui sont séparées par un isolant céramique et peuvent être traitées en parallèle. Ces débits permettent un débit optimisé et une flexibilité maximale du processus. Une chambre source d'ions supplémentaire est prévue pour permettre la gravure du plasma ou l'élimination du matériau induite par les ions. Grâce à sa conception de chambre adaptative, l'unité peut atteindre des recettes de gravure de haut niveau et de bas niveau avec une grande flexibilité. Le matériel de la machine comprend une source collimatée avec anisotropie laser, fournissant les taux de gravure les plus élevés, un nettoyage efficace des substrats et des profils de gravure de la plus haute qualité. Cela est combiné à une gamme de modules intégrés, y compris une chambre de réaction, une alimentation électrique, une source de gaz et/ou de plasma, un outil de charge/déchargement, un contrôle de la température et de la pression et des systèmes de vision. RECHERCHE LAM Inova est conçu pour un chargement rapide et facile du substrat et un atout de sécurité entièrement intégré, y compris un lecteur de carte, aide à protéger les recettes de processus pendant la production. La plate-forme Software for Inova permet à l'utilisateur de contrôler tous les aspects du modèle à partir d'une interface graphique unique, y compris le contrôle de verrouillage de charge, le développement de recettes, le contrôle d'exécution et l'optimisation des processus. Le logiciel peut également être utilisé pour la surveillance à distance, le dépannage, l'optimisation des performances et le contrôle statistique des processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Inova est un équipement de graveur/asher de pointe spécialement conçu pour le traitement par lots à haut volume de substrats. La combinaison de matériel et de logiciel du système, ainsi que sa sécurité intégrée et sa conception de chambre avancée, le rend idéal pour les recettes de gravure de haut niveau et de bas niveau. Avec sa polyvalence et ses performances robustes, Inova est bien adapté à une gamme d'applications de gravure avancées.