Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241208 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus est un outil de grappe à gaz haut de gamme (GCT) pour les applications avancées de gravure de semi-conducteurs. Cet outil est destiné à la production de masse et aux grandes exigences de transformation. Il est capable de produire des formes et des caractéristiques complexes sur divers substrats, y compris des photorésistants, des métaux et des isolants. NOVELLUS Altus GCT utilise plusieurs sources de processus pour produire des caractéristiques et des structures à haut rapport d'aspect sur la pièce. Les sources de procédé comprennent une paire de chambres de plaquettes monobloc, auto-polarisées, qui génèrent des panaches de plasma couplé inductivement (PIC) sur mesure. Cela permet de grandes zones de gravure sans avoir besoin de systèmes d'alimentation en gaz et en source supplémentaires. Les chambres à plaquettes auto-polarisées sont capables de traiter plusieurs substrats simultanément et peuvent varier les réglages de puissance et les débits de gaz indépendamment pour chaque pièce. Cela permet un contrôle exact du processus sur le profil de gravure. Le débit de puissance et de gaz peut également être ajusté en fonction du matériau traité et du profil de gravure désiré. RECHERCHE LAM Altus GCT dispose également d'un équipement de contrôle et de métrologie pour assurer l'uniformité. Un seul spectromètre est utilisé pour surveiller les espèces de gravure et quantifier l'uniformité du procédé. Ce système utilise des caméras et des optiques à double vue pour mesurer le débit de gaz, la pression de la chambre et le taux de gravure. Altus GCT dispose d'une unité hautement automatisée de création et de validation de recettes de processus pour toutes les couches de gravure et les formes de fonctionnalités. Cette machine assure que le profil de gravure répond aux paramètres souhaités pour chaque substrat. Enfin, LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus GCT est équipé d'une interface graphique conviviale. Cela permet d'ajuster facilement les paramètres et de contrôler le processus. Les opérateurs peuvent également utiliser l'interface graphique pour surveiller les conditions d'exploitation et examiner les résultats des gravures en temps réel. NOVELLUS Altus est un outil haut de gamme pour les applications avancées de gravure dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de fournir des résultats de gravure supérieurs sur des substrats simples ou multiples et est conçu pour une production de masse et de grandes exigences de transformation. Il dispose d'un outil hautement automatisé de création et de validation de recettes de processus, d'une optique à double vue, d'une surveillance spectrométrique et d'une interface graphique conviviale.