Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9270995 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus est un type de réacteur à plasma à couplage inductif utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cette technologie utilise une chambre à plasma toroïdal pour créer et entretenir un plasma. Il dispose d'une chambre à quartz à paroi épaisse maintenue à différentes pressions et atmosphère. Cette chambre est remplie d'un mélange gazeux où les électrons sont excités à des niveaux d'énergie élevés et ionisés, créant un plasma. Ce plasma est ensuite utilisé pour déposer des couches de couches minces de matériaux spécifiés sur des plaquettes. Le réacteur NOVELLUS Altus utilise un mélange de plusieurs gaz de procédé, dont l'argon, l'oxygène, l'azote, l'hydrogène, l'hexafluorure de soufre et des gaz rares comme l'hélium et le xénon. Ces gaz sont introduits dans la chambre à un débit prédéterminé pour chaque gaz. Un générateur de plasma externe crée un plasma énergétique à l'intérieur de la chambre, le chauffant à des températures typiquement comprises entre 500 et 1200 degrés Celsius. Ce plasma peut activer et décomposer les molécules des gaz de procédé qui réagissent ensuite sur les surfaces des plaquettes. Les plaquettes sont polarisées pour augmenter la réaction de gravure et le dépôt de matière sur leurs surfaces. Les principaux avantages du réacteur LAM RESEARCH Altus par rapport aux réacteurs à plasma standard sont son contrôle renforcé et sa flexibilité sur le processus de gravure. Le contrôleur permet à l'utilisateur d'affiner les effets du plasma en contrôlant la quantité de chaque gaz de procédé, son débit et la puissance du faisceau. En outre, il peut être facilement modifié pour créer différents types de topologie de surface, comme la planarisation et la gravure 3D, qui sont nécessaires pour des conceptions avancées de puces. Enfin, le réacteur Altus est un outil très fiable et efficace pour déposer et graver des couches de matériau sur des dispositifs semi-conducteurs. Il est également rentable, permettant aux clients de profiter de ses fonctionnalités avancées sans casser la banque. Avec son design polyvalent, LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus est le choix idéal pour tout fabricant de semi-conducteurs.