Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Altus Max #293650146 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Altus Max est un outil de dépôt de couche atomique (ALD) conçu pour permettre aux ingénieurs de procédé d'obtenir les résultats de haute qualité requis pour la fabrication de dispositifs avancés. L'outil Altus Max est conçu pour une productivité élevée et un faible coût de possession en raison de sa conception innovante et de ses capacités d'automatisation complètes. L'Altus Max est une chambre de procédé qui contient un moteur de vide et de dépôt. La chambre peut accueillir jusqu'à deux réacteurs et peut fonctionner simultanément à plusieurs chambres. Le système dispose également d'une automatisation complète du robot, qui permet un échange modulaire de chambres, de plaquettes et de composants sans interruption du cycle de production. La principale caractéristique du système Altus Max est sa capacité à déposer des films minces de haute qualité à l'aide d'ALD. Ce procédé sophistiqué implique une superposition séquentielle de deux précurseurs distincts sur la surface de la plaquette. Les précurseurs peuvent être soit des monocouches auto-assemblantes (SAM), soit des précurseurs vaporisés. Le logiciel développé pour l'outil permet une précision couche par couche et des performances de processus répétables. Le procédé ALD utilisé par l'Altus Max est extrêmement polyvalent et peut être adapté aux besoins technologiques d'une variété d'applications telles que l'emballage avancé, les dispositifs de mémoire et les composants MEMS. Les cadences de production obtenues avec l'outil vont de 30 à 1000 plaquettes/heure, ce qui permet d'augmenter facilement le volume de production. L'Altus Max est un outil fiable qui a fait ses preuves en matière de résultats de processus fiables. Le logiciel dispose d'une interface conviviale et de capacités complètes de déclaration, et tous les composants sont conçus pour une durée de vie prolongée avec un minimum de maintenance, offrant ainsi un faible coût de propriété, même pour une production à haut volume. L'Altus Max représente un outil puissant et fiable dans la gamme NOVELLUS, conçu pour garantir des résultats de haute qualité et des performances de processus reproductibles, tant pour les applications de recherche que de production. Il offre un moyen fiable et rentable de fabriquer des appareils avancés, avec un véritable retour sur investissement.