Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Speed #293792968 à vendre en France
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LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 3 Speed est un réacteur de procédé avancé et système de dépôt qui est spécifiquement conçu pour produire des couches complexes de film et de matériaux avec une précision optimisée. Ce réacteur combine une conception de chambre à vide de pointe avec des composants de haute technologie pour créer un processus de dépôt efficace, reproductible et fiable. NOVELLUS CONCEPT 3 Le réacteur à vitesse est composé de trois zones distinctes : la serrure de charge, la chambre de traitement et la chambre tampon. La serrure de charge est l'endroit où les substrats d'échantillons sont placés pour le traitement et sont pressurisés jusqu'à un niveau spécifié. La chambre de procédé est la chambre de réaction proprement dite où se déroule le processus de dépôt. La Chambre de procédés fonctionne efficacement avec des processus à basse pression ou à point d'extrémité ainsi que pour des opérations sous des conditions de pression/température plus élevées. La chambre tampon est un antichambre de la ligne de front, où la pression à l'intérieur du réacteur est réglée. LAM RESEARCH CONCEPT 3 Speed utilise des diagnostics de processus avancés pour améliorer le fonctionnement global du réacteur. Cela comprend un système de capteurs de pression pour contrôler et ajuster en continu la pression sur toute la plage de fonctionnement du réacteur. Il comprend également une grande variété de composants diagnostiques intégrés tels que des manomètres, des thermocouples et un système d'alimentation des dépôts. De plus, le réacteur CONCEPT 3 Speed comprend une série de fonctionnalités avancées, telles que le réglage automatisé des paramètres du processus, l'enregistrement des données du processus en temps réel à bord et le contrôle de la température source/substrat. De plus, le réacteur LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 3 Speed permet d'exploiter jusqu'à trois procédés différents grâce à ses trois vitesses de traitement. Cela permet une plus grande flexibilité et efficacité de fonctionnement. En outre, le réacteur NOVELLUS CONCEPT 3 Speed dispose d'une gamme de dispositifs de sécurité intégrés, tels que des systèmes de protection contre les hautes températures et les surpressions, conçus pour prévenir tout dommage potentiel pour le réacteur ou ses utilisateurs. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH CONCEPT 3 Speed est un réacteur très avancé conçu pour une production rapide, optimisée et fiable de couches complexes de films et de matériaux. Ses diagnostics de processus avancés, ses mesures de sûreté intégrées et ses trois vitesses opérationnelles font de CONCEPT 3 Speed un réacteur de pointe sans pareil dans sa catégorie.
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