Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293618620 à vendre en France

ID: 293618620
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
System, 12" Ashable hard mask Interconnect cable: 75 ft Atmospheric robot configuration friction end effector Mounting for light tower audio buzzer wall/flush mount Load lock pump: Primary user interface flat panel right Express System options: 4-Colors signal tower (RYGB) IMM Readiness over left load lock Third FOUP (3) FOUP RFID Readers FA Communication interface AHM Deposition kit EBR Capable load lock Pressure display package Heated process manometer Leak check shut off value 2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur robuste conçu pour les environnements de production. C'est un équipement de pointe qui utilise une plate-forme sophistiquée basée sur le vide pour offrir un niveau de performance, d'efficacité et de fiabilité inégalé. Sa conception innovante utilise un système de vectorisation intégré pour disperser le gaz et le plasma sur une grande surface afin d'améliorer l'uniformité. L'unité est entièrement automatisée et équipée de diagnostics avancés et de capacités de suivi de processus en temps réel. Sa machine de commande sophistiquée permet un équilibrage thermique précis, le contrôle de la pression et la propreté de la chambre. NOVELLUS Concept 3 Vector Express est bien adapté pour le dépôt efficace de couches minces. Il comprend un générateur RF, l'interface de la pompe, l'échappement de la chambre de processus sur mesure, le diagnostic plasma, et l'automatisation complète. La caractéristique frappante de LAM RESEARCH Concept 3 Vector Express est son outil de vectorisation intégré. Il s'agit d'un ensemble d'étriers puissants de contrôle des gaz qui répartissent uniformément le plasma et d'autres gaz sur la surface du substrat cible. Ceci améliore l'homogénéité du film, même dans les processus réactifs. Il augmente également le temps de fond et améliore l'efficacité globale du processus. L'outil innovant de contrôle du gaz de procédé offre des temps de réponse rapides, un contrôle précis de la composition du gaz et une propreté améliorée du modèle. Il assure un équilibre optimal de l'environnement dans toute la chambre est maintenu, ce qui améliore la qualité du matériau. Les diagnostics avancés permettent également une analyse en temps réel des paramètres plasmatiques et de la qualité du substrat. Concept 3 Vector Express est construit avec des matériaux durables qui offrent une résistance supérieure à l'érosion chimique et thermique. Cela rend le système capable de gérer un large éventail de processus de production. Il dispose également de systèmes de sécurité intégrés et de fonctionnalités intégrées pour réduire les coûts d'entretien. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur remarquable conçu pour augmenter la productivité et la fiabilité. Son unité avancée de contrôle des gaz de procédé, sa machine de vectorisation intégrée et ses diagnostics sophistiqués permettent des dépôts de substrat précis et des conditions de processus contrôlées. Ses matériaux durables et ses systèmes de sécurité intégrés garantissent performance et fiabilité à long terme. Cela en fait un choix attrayant pour les environnements de production.
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