Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9241174 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un équipement de réacteur par lots haute performance qui fournit un contrôle de processus inégalé et l'uniformité dans la production de plaquettes. Le système dispose d'une interface automatisée qui permet à l'utilisateur de facilement configurer et modifier les paramètres au fur et à mesure que les exigences du processus changent. Il est équipé de multiples fonctions de chauffage des chambres et des filaments, ce qui permet de contrôler avec précision les températures de processus et d'augmenter considérablement le rendement et l'uniformité des plaquettes. Le Vector Express est conçu avec une architecture de chauffage et de refroidissement contrôlée avec précision qui fournit des décharges et des gravures précises et répétables. L'unité dispose d'une chambre rectangulaire unique avec des capacités intégrées de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) qui permettent l'accumulation couche par couche de plaquettes avec des dommages thermiques minimes. Il utilise une combinaison de puissance de haute fréquence et de spectrométrie de masse de temps de vol pour ajuster de manière fiable les propriétés du film de plaquette. Ce réacteur unique permet un débit élevé avec des procédés par lots pouvant durer jusqu'à sept jours sans interruption. Il utilise également plusieurs armoires à gaz qui permettent la filtration des gaz d'échappement pour garantir des résultats de la plus haute qualité. Le Vector Express dispose d'une machine d'échappement efficace qui minimise la perte de particules de la surface de la plaquette en utilisant une combinaison de mesures de pression et de température. L'outil comprend également plusieurs fonctions de sécurité et de surveillance qui aident à prévenir toute contamination potentielle ou tout problème structurel. Ces caractéristiques comprennent la vérification de l'alignement optique, un actif de surveillance des fuites pour tout rejet de gaz inflammables et un modèle de surveillance de la température qui maintient l'uniformité de la température de surface de la plaquette. Dans l'ensemble, NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur fiable et performant qui offre un contrôle et une uniformité des procédés, un débit élevé, une accumulation précise de plaquettes et des fonctionnalités de sécurité et de surveillance améliorées. Il utilise une technologie de pointe qui permet aux utilisateurs de contrôler avec précision les températures et les gravures, et de produire rapidement des résultats reproductibles. En s'appuyant sur le Vector Express, les lignes de production peuvent augmenter les rendements des procédés et réduire les coûts.