Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9257029 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur de gravure résistif utilisé pour des applications de haute précision. Cet outil avancé offre un contrôle supérieur sur les paramètres de gravure, permettant des géométries gravées plus fines même avec des conceptions complexes. Le Vector Express dispose d'une capacité de plaquette de 250 mm, capable de fonctionner à des débits élevés. De plus, il est configuré avec un équipement de collage Endurium™ qui assure une liaison de procédé très fiable entre la plaquette et le mandrin à vide. Le vecteur express est équipé d'un bras robot personnalisable qui permet un positionnement précis pour le processus de gravure. Ce bras robot est couplé au système de collage endurium™ et peut déplacer un maximum de 30 mm dans les axes X, Y et Z. L'outil offre également une tête de balayage 3D qui peut facilement détecter la forme de la plaquette et ajuster le profil de gravure en conséquence. Le Vector Express dispose d'une unité de contrôle intégrée qui permet aux utilisateurs de programmer le processus de gravure en plusieurs étapes, ce qui permet d'ajuster la précision et de contrôler le processus. De plus, sa source double intégrée (plasma et polarisation) et ses générateurs doubles RF permettent aux utilisateurs de graver des motifs tridimensionnels très complexes avec de très petites largeurs de ligne et une accordabilité de coin sans affecter les caractéristiques de gravure isotrope. La machine offre également une bonne répétabilité du procédé. Ceci est possible grâce à ses deux chambres supplémentaires qui ont été ajoutées et qui servent de chambres de purge et d'échappement. Cela aide à réduire la contamination de la chambre et augmente la stabilité du processus au fil du temps. Ces fonctionnalités supplémentaires combinées à ses configurations sources polyvalentes offrent aux utilisateurs des performances et une flexibilité de processus supérieures. En outre, sa conception compacte et ses performances puissantes rendent le Vector Express idéal pour les processus de gravure de précision et les applications.