Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9281507 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur de pointe spécialement conçu pour déposer des couches de matériaux diélectriques sur des plaquettes semi-conductrices. Ce design innovant offre un débit élevé avec une uniformité constante, lui permettant de répondre aux exigences de production les plus exigeantes. Le Vector Express dispose d'un réacteur à plasma à deux étages avec deux régions distinctes. La première région est une zone à vide élevé qui peut fonctionner à des niveaux de puissance faibles et élevés. Le niveau de puissance élevé dans cette chambre permet une plus grande vitesse de dépôt et une uniformité de dépôt de matière. La deuxième région est une zone à faible vide, conçue pour minimiser la contamination et assurer le contrôle de l'uniformité. La troisième région du Vector Express est la zone d'échappement, conçue pour isoler complètement les plaquettes pendant le traitement et pour aider à éliminer les particules et les gaz indésirables du système. Le réacteur Vector Express est composé de quatre composants principaux : une chambre de préchauffage/post-recuit, un pulvérisateur de polarisation, une chambre de résonance cyclotron électronique et une chambre à vide. La chambre de préchauffage/post-recuit utilise des lampes infrarouges et du gaz d'azote chaud pour chauffer la plaquette avant et après le processus de pulvérisation de polarisation, respectivement. La chambre de pulvérisation de polarisation est équipée d'un champ électrostatique qui bombarde la plaquette à un niveau de puissance faible, permettant le dépôt de couches de matériau précises et uniformes. La chambre de résonance cyclotron électronique utilise des ondes radio haute fréquence pour exciter les atomes dans le gaz ambiant afin de produire un environnement plasma qui peut être utilisé pour déposer des matériaux diélectriques avec des propriétés de polarisation exceptionnelles. Enfin, la chambre à vide est utilisée pour fournir un environnement extrêmement propre pour l'ensemble du procédé, assurant une contamination minimale du matériau déposé. NOVELLUS Concept 3 Vector Express de NOVELLUS est un réacteur révolutionnaire qui permet un dépôt rapide et précis de diélectriques sur des plaquettes semi-conductrices. Cette conception avancée réduit considérablement le temps et les ressources nécessaires pour produire des chipsets fiables avec une grande uniformité. Le Vector Express est capable de fonctionner à des niveaux de puissance à la fois faibles et élevés, permettant des taux de dépôt plus efficaces et une plus grande uniformité des matériaux déposés, permettant au réacteur de répondre aux exigences de production les plus exigeantes. En utilisant un champ électrostatique, des ondes radiofréquences et un environnement propre, le Vector Express est en mesure d'assurer un dépôt très uniforme des matériaux, permettant la production de puces fiables et performantes.