Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9294929 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur de traitement plasma révolutionnaire conçu pour augmenter la capacité et le débit pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur Vector Express utilise une architecture innovante pour optimiser l'exécution de tâches de production complexes. Il utilise quatre tubes à plasma indépendants, capables chacun de délivrer du plasma de forte puissance égale à celle d'une chambre de gravure à plasma pleine échelle. Ces tubes à plasma sont intégrés dans une conception de pointe qui permet de tamponner les processus, permettant un chronométrage des événements plus efficace, des temps de cycle améliorés et un entretien minimal. De plus, Vector Express dispose d'un collecteur de gaz embarqué qui alimente directement la source de plasma en gaz inertes et réactifs. Cette fonctionnalité permet des paramètres de processus plus précis et permet un temps de fonctionnement beaucoup plus long, ce qui se traduit par un débit plus élevé et une meilleure répétabilité. Le Vector Express dispose également d'une plaque de suscepteur extrêmement robuste et fiable, qui est capable de résister aux chocs thermiques pendant le refroidissement post-processus, ainsi que d'offrir une uniformité supérieure des résultats de gravure. Enfin, ce réacteur est équipé d'un nouveau système révolutionnaire de contrôle de la pression, qui permet d'assurer que la chambre fonctionne toujours dans des environnements de pression optimaux, conduisant à des rendements plus élevés et à une meilleure qualité du produit. NOVELLUS Concept 3 Vector Express garantit une solution de traitement plasma fiable et performante pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.