Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261720 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector est un type de réacteur conçu pour traiter diverses applications de procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt en couche atomique (ALD). Ce réacteur CVD/ALD de pointe dispose d'un environnement thermique de trois zones, offrant la capacité d'adapter les conditions de traitement avec trois plaques de chauffage et de refroidissement. NOVELLUS Concept 3 Vector est conçu avec une source de plasma basse pression, avec une configuration de plasma à couplage inductif de 13,56 MHz (ICP). Cela permet une génération de plasma uniforme et un rayonnement ultra-violet faible pour une meilleure répétabilité du procédé avec une taille des particules et une composition de dépôt cohérentes. LAM RESEARCH Concept 3 Vector permet une évacuation rapide des chambres de processus, réduisant le temps nécessaire au cycle de processus et réduisant la rugosité des films. En outre, Concept 3 Vector dispose d'un système de distribution de gaz de réaction supérieur, fournissant des films de qualité supérieure grâce à un transport uniforme de gaz de réaction. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector est également conçu avec un système d'oxydation ultra-faible. Il utilise une bobine triple couche pour les performances de réduction de l'oxyde et le faible coût de propriété. En outre, NOVELLUS Concept 3 Vector est conçu avec des modules thermoélectriques avancés, assurant des zones de température cible rapides et une température d'adaptation avec répétabilité et précision. LAM RESEARCH Concept 3 Les contrôleurs logiques programmables (PLC) de Vector fournissent un contrôle de processus haute performance, permettant des recettes de processus précises et reproductibles. Sa conception exceptionnelle fait du Concept 3 Vector une option idéale pour le traitement de matériaux tels que les cellules solaires photovoltaïques, les transistors à couches minces et les diélectriques de grille. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector offre une homogénéité de film exceptionnelle tout en offrant un temps de traitement rapide et une répétabilité de processus supérieure. Sa conception révolutionnaire en fait également une excellente option pour les mémoires ultra-haute densité, les microsystèmes électromécaniques (MEMS) et les plaquettes BiCMOS. Avec ses caractéristiques exceptionnelles, NOVELLUS Concept 3 Vector améliore les performances des appareils et les rendements de production. Ses avantages pour l'utilisateur final font de LAM RESEARCH Concept 3 Vector un réacteur efficace pour divers procédés de fabrication.