Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9375284 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma conçu pour l'industrie mondiale de la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes des nœuds de technologie de pointe, offrant des performances inégalées. NOVELLUS Concept 3 Vector intègre une douche à haut rapport d'aspect unique et une architecture Etch Tube, lui permettant de traiter les plus petites géométries de fonctionnalités avec un excellent débit. L'uniformité technique et la conception avancée des chambres offrent un haut degré de répétabilité, permettant aux clients de réduire les taux de défectuosité des produits finis et de rationaliser leurs besoins de production. LAM RESEARCH Concept 3 Vector utilise une alimentation RF flexible avec contrôle complet de la puissance, pendentif, fractionnement hors gaz et préensemencement. Il offre une polyvalence inégalée et peut être configuré pour fonctionner avec une variété de chambres, tailles de chambres et matériaux de substrat. Concept 3 Vector est conçu pour répondre aux exigences d'uniformité de température et de température les plus élevées des nœuds de technologie de pointe actuels. Il comprend également des technologies de refroidissement avancées qui permettent un contrôle serré des processus, assurant la plus haute qualité de produit et des rendements. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector offre également une grande flexibilité de débit de gaz. Avec sa ligne de gaz complète et sa technologie de distribution, le Vector peut gérer avec précision chaque précurseur filmogène et nécessiter des gaz de support, ce qui facilite l'adaptation à un large éventail de procédés. Enfin, NOVELLUS Concept 3 Vector dispose de diagnostics complets et d'outils embarqués permettant aux utilisateurs d'optimiser leurs processus au plus haut niveau de contrôle, de précision et de cohérence. De la régulation des conduites de gaz et du profilage de la température aux fonctions d'optimisation des processus et de maintenance prédictive, LAM RESEARCH Concept 3 Vector fournit aux clients les outils dont ils ont besoin pour repousser les limites de l'innovation.