Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #293830447 à vendre en France
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ID: 293830447
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1998
CVD System, 5"
1998 vintage.
Le réacteur LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE est un équipement de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) polyvalent et fiable, conçu pour fournir des structures en couches minces à base de silicium de haute qualité pour les dispositifs semi-conducteurs avancés et la microélectronique. Le système contient quatre modules, tous intégrés dans un seul environnement d'architecture ouverte. Au cœur de l'unité se trouve la chambre CVD, qui est chauffée à la température de traitement désirée. La chambre est contrôlée à partir du module de traitement, qui permet un chargement et un contrôle précis des matières de stock, des gaz et des liquides. La machine de transport apporte toute la précision nécessaire pour des structures en couches minces de qualité. Cet outil se compose de pompes, vannes, solénoïdes, et d'autres composants qui contrôlent les mouvements du matériel de stock dans et hors de la chambre. Chaque mouvement est surveillé et contrôlé par les paramètres définis par l'utilisateur dans le logiciel. Le logiciel est l'un des composants les plus importants et les plus puissants de l'actif. Ce logiciel gère tous les paramètres, du chargement du matériel à l'enregistrement des résultats dans un journal. Il fournit également un environnement graphique pour la surveillance de la structure des couches minces en temps réel. Il offre également des fonctionnalités avancées qui permettent aux utilisateurs d'ajuster le modèle pour obtenir des résultats optimaux. Enfin, l'équipement CVD est équipé de diagnostics pour surveiller et contrôler les performances du système. Ceci inclut la surveillance de paramètres tels que la température, la pression, le débit, le débit massique et les fractions molaires des gaz utilisés dans le dépôt de la structure en couches minces. Ces diagnostics permettent aux utilisateurs de détecter toute irrégularité et d'effectuer les ajustements nécessaires pour prévenir les erreurs potentielles et garantir un produit final de qualité. En conclusion, le réacteur LAMNOVELLUS CONCEPT ONE est une unité incroyablement polyvalente qui permet à l'utilisateur de contrôler complètement son processus CVD. En contrôlant soigneusement les variables au sein de la machine, les utilisateurs peuvent créer des structures fines précises et uniformes pour les dispositifs semi-conducteurs avancés et la microélectronique. Les diagnostics de l'outil garantissent des données et des résultats précis et son progiciel fournit une plate-forme puissante pour surveiller et contrôler les paramètres de l'actif.
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