Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #9079785 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE est un réacteur global co-marqué développé par NOVELLUS et LAM RESEARCH Systems. Il s'agit d'un équipement avancé de 300mm (12 pouces), conçu pour des applications de gravure de précision à haute productivité dans le secteur de la microlithographie, comme dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. NOVELLUS CONCEPT ONE utilise une source de plasma à haute vitesse, à haute température et à distance qui est mobile sur toute la surface du substrat. Cela permet des caractéristiques de gravure de haute précision, avec des temps de processus rapides. Le mécanisme de mandrin indépendant de haute précision permet un battage complexe, et les composants du palier à air délivrent un mouvement supérieur sans dégradation des performances des pièces en raison des cycles thermiques. LAM RESEARCH CONCEPT ONE est équipé d'une variété d'accessoires qui rendent le système adapté à différentes applications de gravure. Premièrement, les systèmes de refroidissement comprennent un sous-système d'azote liquide de grande capacité pour refroidir les plaquettes et les électrodes. Ceci permet un contrôle précis de la température et une excellente uniformité. Deuxièmement, l'unité est équipée de générateurs RF « à oxyde dopé », qui génèrent un champ électrique uniforme dans le plasma pour contrôler avec précision les paramètres du processus de gravure. Troisièmement, les systèmes optiques comportent des caméras à haute résolution pour aligner le motif cible sur le substrat avec un degré élevé de précision. CONCEPT ONE dispose également d'un ensemble d'outils de métrologie embarqués, pour mesurer la performance des processus de gravure en temps réel. Il s'agit notamment d'un scanner laser vivant, d'un moniteur de profil de bord et d'un détecteur de défauts pour évaluer l'efficacité du processus de gravure et soulever tout problème, comme la fidélité des motifs, le profil de gravure en filière, le taux de gravure, etc. En outre, LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONE est équipé d'une série de fonctions de surveillance, qui fournissent des signaux visuels et audio embarqués pour alerter les opérateurs de problèmes de processus potentiels. NOVELLUS CONCEPT ONE offre aux utilisateurs une solution de gravure et de lithographie évoluée et clé en main adaptée à leurs besoins spécifiques en matière de réunion et d'application de gravure. Son logiciel automatisé de contrôle des processus prend en charge tous les paramètres et surveille le processus de gravure, assurant une exécution optimale, un rendement et une fiabilité améliorés, et minimisé les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH CONCEPT ONE est une machine de gravure avancée, robuste et très fiable qui convient à un large éventail d'applications de gravure et de lithographie. Sa panoplie d'outils de métrologie embarqués, son logiciel de contrôle automatisé des processus, sa haute précision dans le marquage, son contrôle de la température et son mécanisme de mandrin indépendant en font une solution idéale pour les applications de gravure de haute productivité et de précision dans le secteur de la microlithographie.