Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE XT #293610192 à vendre en France

Le réacteur LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE XT est un équipement de traitement plasma basse pression de haute précision conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. En utilisant du plasma radiofréquence et des températures élevées du substrat, ce réacteur est capable de réaliser des processus de modification de surface et de gravure. Le réacteur NOVELLUS SABRE XT est construit sur une plate-forme de production et est équipé de la technologie de source RF propriétaire, permettant une excellente répétabilité et contrôle du procédé ainsi qu'une meilleure uniformité du plasma. Il obtient une excellente qualité de surface et contrôle sous-angstrom sur les processus de gravure. Le substrat est chauffé par une plaque chauffante à quartz capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C Les gaz de procédé sont introduits dans la chambre de gravure par une boîte à gaz en ligne. Les conduites de boîtes à gaz sont reliées au GGA (Gas Gauge Assembly) avec des débitmètres à gaz, des soupapes d'isolement et des raccords de raccordement rapide pour un entretien facile. Le réacteur est conçu pour le traitement par lots et peut traiter jusqu'à quatre substrats simultanément. LAM RESEARCH SABRE XT est également équipé d'une serrure à faible entretien et d'un manche à cassettes, ainsi que d'une boîte de distribution de gaz de procédé à température contrôlée. Le système dispose également d'une unité de contrôle automatisée sophistiquée pour surveiller les paramètres du processus, permettant des délais de traitement plus rapides, des rendements plus élevés et une répétabilité et une stabilité accrues du processus. Grâce aux performances avancées, au contrôle et à la cohérence de traitement de la machine, le réacteur SABRE XT est une solution de gravure économique et fiable pour une production avancée de semi-conducteurs. Sa source de plasma basse pression, sa plaque chauffante à quartz, sa répartition uniforme des températures et sa manutention en ligne des gaz en font un choix idéal pour la fabrication de dispositifs nanométriques.