Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9167146 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est un réacteur de série révolutionnaire qui offre une flexibilité maximale, un débit maximisé, un contrôle supérieur et une uniformité de dépôt supérieure le tout dans une conception efficace et conviviale. Ce réacteur marque un grand progrès vers l'intégration lithographique pour la conception et la fabrication avancées IC. Ce réacteur de pointe effectue des opérations telles que la gravure, le dépôt et le nettoyage au sein d'une même plate-forme, tout en permettant une personnalisation locale de la capacité et de la complexité de la production. Le réacteur fonctionne à l'aide d'une combinaison de multiples gaz de processus contrôlés par ordinateur qui permettent la modification personnalisée des surfaces avec des matériaux avancés tels que le nitrure de silicium, le silicium polycristallin et le tungstène, ainsi que des matériaux amorphes et pulvérisateurs. Le réacteur est équipé de plusieurs modules uniques qui facilitent un processus plus rapide, plus contrôlé et plus efficace. Le module primaire est le système à double électrode (DES). Le DES assure un contrôle extrêmement précis des conditions du procédé, tout en permettant un débit plus élevé. Le réacteur est également équipé du système de tuyère « Split Jet », qui optimise les caractéristiques de dépôt pour une variété de matériaux. La buse permet également une couverture de couche plus uniforme et de meilleures performances de nettoyage sur l'ensemble de la plaquette d'entreprise. La vitesse NOVELLUS de ce réacteur est encore augmentée avec l'utilisation de son robot automatique High LAM RESEARCH Speed pour la manipulation de plaquettes et d'autres composants de processus. Ce robot augmente le débit, réduit le travail manuel et élimine la possibilité de contamination. La conception unique en flux croisé du réacteur est extrêmement efficace, offrant une vitesse maximale de traitement des plaquettes. Le réacteur est également équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un système d'interception électrique et chimique, un interrupteur d'arrêt d'urgence, une manutention configurable du processus et des embrayages de gaz inertes. NOVELLUS Reactor offre une conception conviviale et un contrôle de processus supérieur. Le réacteur est construit pour s'intégrer à d'autres composants du procédé, permettant la production de semi-conducteurs avancés avec un maximum d'efficacité et de flexibilité.