Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9353432 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est un équipement de traitement réactif utilisé pour fournir des performances et une efficacité de traitement haut de gamme lors de la réalisation de processus chimiques complexes, à haute température et à haute pureté. Il fonctionne à une température maximale de 600 ° C, et est conçu pour être fiable avec la capacité de fournir un haut niveau de performance du système et de contrôle de la qualité. Les composants centraux du réacteur NOVELLUS Speed sont une chambre de procédé, des sources de gaz double, une source d'énergie plasma et plusieurs fours de cuisson de plaquettes. La chambre est construite d'une coque en acier inoxydable robuste qui supporte l'isolation nécessaire pour résister aux températures élevées requises pour le traitement. A l'intérieur de la chambre se trouve un plateau tournant qui maintient un suscepteur avec les plaquettes à traiter. Les deux sources de gaz fournissent les gaz de procédé désirés pour chaque étape du procédé. La source d'énergie du plasma est utilisée pour créer un plasma de haute intensité pour affiner les gaz de procédé afin d'obtenir un contrôle précis des paramètres du procédé. Les fours sont utilisés pour préchauffer et post-chauffer des plaquettes pour obtenir un meilleur traitement et pour obtenir les résultats souhaités. Pour les procédés améliorés par le plasma, LAM RESEARCH Speed peut traiter divers gaz, dont l'hydrogène, l'oxygène, l'azote, l'argon, l'ammoniac, le chlore et divers autres composés. Pour les processus physiques de dépôt en phase vapeur, Speed est équipé de diverses sources de volatilisation, telles que des faisceaux d'électrons, des lampes et des bateaux à quartz. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed offre des performances exceptionnelles en termes de vitesse de traitement NOVELLUS (en raison de sa vitesse de rafraîchissement rapide de la température), d'homogénéité des chambres et de capacité à fournir un environnement extrêmement basse pression et basse énergie pour créer un processus stable. De plus, grâce à ses multiples sources de plasma, à ses systèmes de contrôle avancés et à son unité de métrologie sophistiquée, LAM RESEARCH Speed peut obtenir des performances supérieures en termes de taux de dépôt, d'uniformité et de rendement des plaquettes. La vitesse est un choix idéal pour ceux qui recherchent une solution pour la fabrication de procédés avancés et la fabrication de dispositifs. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed offre une construction robuste, des contrôles de précision et une qualité de processus exceptionnelle, ce qui en fait un excellent choix pour ceux qui recherchent une machine de traitement fiable et performante.