Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293627660 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT est un système de gravure et de dépôt de plasma haute performance entièrement automatisé conçu pour la fabrication de matériaux 3D de pointe. NOVELLUS Vector XT offre la plus grande vitesse, la plus grande précision et la plus faible consommation de gaz pour permettre des processus à haut rendement, économiques et durables. LAM RESEARCH Vector XT est un outil autonome de traitement par lots qui dispose d'un collecteur de gaz/vide intégré, permettant l'utilisation simultanée de jusqu'à douze gaz de procédé, permettant une grande flexibilité dans les exigences de fabrication. Sa conception modulaire offre un contrôle supérieur des processus, offrant aux utilisateurs un coût de propriété réduit, un débit élevé et des processus reproductibles. La chambre à vide du réacteur Vector XT est une structure cylindrique en acier inoxydable d'un diamètre de 10 pouces. Son étanchéité hermétique est maintenue par une combinaison de verrous manuels et d'une solution de purge à basse pression et remplie d'azote. Lorsque l'outil nécessite un nouveau gaz de procédé, il peut être chargé dans le fond de la chambre avant d'être pompé, permettant des transitions rapides et efficaces. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT comprend l'un des manipulateurs « z-theta » (bras robotiques) à double axe les plus rapides disponibles pour ajuster l'angle du substrat, permettant un contrôle fin du processus. L'unité de contrôle numérique embarquée contient une gamme de composants matériels et logiciels dédiés et intégrés qui permettent l'exécution automatisée des processus de gravure et de dépôt. Cela peut inclure le contrôle de la température, le contrôle du débit de gaz réactif, l'alimentation RF, les courbes de pression, le séquençage du gaz et la composition du gaz. La source d'énergie à double fréquence RF est capable de délivrer jusqu'à 450 watts, tandis que la source d'énergie à courant continu impulsionnel alternatif offre jusqu'à 300 watts. Conçu avec une interface conviviale, le terminal opérateur de NOVELLUS Vector XT fournit une gamme de fonctions, y compris la configuration, l'évaluation des processus, la révision des données, la protection des mots de passe et la commutation entre les modes manuel et automatique. Les dispositifs de sécurité sont également nombreux, y compris des capteurs de proximité, un système de lampe et un moniteur de pression. Les lampes sont configurées pour indiquer la pression de la chambre, l'état du système, la détection du gaz et la manutention du gaz, assurant la sécurité de l'opérateur. LAM RESEARCH La taille de la chambre de Vector XT est suffisamment grande pour plusieurs substrats qui peuvent varier en tailles jusqu'à 450mm par 450mm par 300mm, ce qui le rend adapté pour les plaquettes, substrats PR, dispositifs MEMS et autres substrats complexes. Sa géométrie exclusive permet une uniformité et une répétabilité des processus de gravure et de dépôt avec des taux de dépôt impressionnants de 20 Angströms/seconde. En conclusion, Vector XT est un réacteur à plasma à pression atmosphérique polyvalent et durable adapté à une variété de processus de gravure et de dépôt. Avec ses fonctionnalités avancées et sa capacité à travailler avec de multiples substrats, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT offre aux utilisateurs des résultats propres et reproductibles avec des coûts de propriété réduits.