Occasion LAM RESEARCH Sabre 3D #293620476 à vendre en France

LAM RESEARCH Sabre 3D est un réacteur de pointe conçu pour permettre des processus de gravure et de dépôt de pointe, permettant des capacités de fabrication supérieures dans une variété d'industries. Il dispose de deux options de chambre modulaire, qui sont capables de haute échelle de ratio d'aspect ainsi que des architectures tridimensionnelles (3D). Sabre 3D dispose également d'un processus d'autodéposition qui permet un faible coût de propriété avec des besoins de maintenance minimes. Grâce à des optimisations logicielles et matérielles avancées, le réacteur garantit les performances, la répétabilité et la fiabilité de haute qualité nécessaires pour les applications tant au niveau de la production que de la recherche. Les principales caractéristiques de LAM RESEARCH Sabre 3D comprennent sa précision de gravure supérieure et son contrôle de chevauchement, une vitesse de dépôt robuste et une bonne uniformité, et une compatibilité polyvalente des matériaux. Son time-to-market est encore amélioré par ses options de chambre modulaire, le processus d'autodéposition, et l'optimisation avancée du matériel/logiciel. Pour une précision de gravure, le réacteur utilise un nouveau champ magnétique RF et des profils de gravure isotropes symétriques pour améliorer la répétabilité du procédé. Pour la vitesse de dépôt et l'uniformité, Sabre 3D permet un taux de croissance de film élevé et des films conformes avec des propriétés de planarisation exceptionnelles. L'ensemble du système est optimisé pour une utilisation optimale, ce qui permet de réaliser d'excellents processus de gravure et de dépôt en un temps plus court avec une excellente uniformité. En outre, ses composants matériels sont conçus comme une unité intégrée, offrant des performances rationalisées et une facilité d'utilisation. Il exploite une capacité d'injection de trois gaz, ce qui se traduit par une efficacité plus élevée que les systèmes à deux gaz. De plus, LAM RESEARCH Sabre 3D dispose d'un contrôle dynamique de la pression et de la température, permettant au réacteur de fonctionner dans un large éventail de paramètres de fonctionnement tout en obtenant le plus haut niveau de précision et de répétabilité. Du point de vue de la compatibilité des matériaux, Sabre 3D est parfaitement adapté à la résistance à la gravure et au dépôt et est optimisé pour contrôler les dimensions critiques (CD), l'uniformité des caractéristiques et la couverture film sur film. Le réacteur peut également être utilisé pour d'autres films, tels que diélectriques, conducteurs, isolants, ce qui le rend adapté à une grande variété d'applications. En résumé, LAM RESEARCH Sabre 3D est un réacteur de pointe conçu pour permettre des processus de gravure et de dépôt. Il dispose de deux options de chambres modulaires et d'optimisation avancée du matériel/logiciel avec une excellente précision de gravure et de contrôle de chevauchement et une grande vitesse de dépôt et uniformité. Son excellente compatibilité des matériaux et son contrôle dynamique de la pression et de la température permettent au réacteur de fonctionner dans un large éventail de paramètres de fonctionnement pour des niveaux de précision et de répétabilité les plus élevés, et son processus d'autodéposition permet une grande vitesse de fabrication avec des besoins de maintenance minimes.