Occasion LAM RESEARCH Sabre 3D #9300020 à vendre en France

LAM RESEARCH Sabre 3D est une chambre de dépôt de pulvérisation réactive à couplage inductif tridimensionnel, conçue pour fournir un dépôt de pulvérisation de précision de films minces. Le mécanisme unique de contrôle de densité à haut rendement de Sabre 3D permet le dépôt de particules d'épaisseur et de composition exactes, permettant un meilleur contrôle du dépôt de film. RECHERCHE LAM La puissante source de plasma inductif couplé (ICP) de Sabre 3D crée un champ énergétique intense, qui provoque la pulvérisation de particules du matériau cible à un rythme élevé. Ceci assure un dépôt de film cohérent et uniforme, ce qui conduit à d'excellentes performances de revêtement. Sabre 3D possède deux sources de plasma indépendantes, l'une montée dans la chambre inférieure et l'autre dans la chambre supérieure, permettant le dépôt de matière sur deux substrats dans le même temps. Les principaux avantages par rapport aux systèmes classiques de pulvérisation sont les taux de dépôt plus élevés, l'uniformité améliorée et la défectivité réduite. En plus d'offrir des dépôts à haute vitesse, LAM RESEARCH Sabre 3D offre également des capacités supérieures de préparation de surface et de gravure. Les cathodes maillées et la géométrie innovante du filament créent un champ intense pour la gravure plasma, ce qui permet une préparation de surface supérieure et une uniformité améliorée du film. Sabre 3D peut également être utilisé pour la gravure des substrats avant le dépôt, permettant une productivité élevée et un meilleur contrôle des procédés. LAM RESEARCH Sabre 3D est également livré avec des capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. Il est équipé d'un système de contrôle avancé qui surveille constamment les paramètres du processus, permettant un meilleur contrôle de cette étape critique du dépôt de film. Des outils de contrôle des processus tels que le réglage des processus, le contrôle automatisé des processus et le contrôle statistique des processus sont également facilement disponibles. Dans l'ensemble, Sabre 3D est une chambre de dépôt de pulvérisation réactive à couplage inductif très polyvalente et efficace, conçue pour fournir un dépôt de pulvérisation de précision des couches minces. Ses capacités avancées de surveillance et de contrôle des procédés, ses capacités supérieures de préparation de surface et de gravure, et son excellent taux de dépôt en font un excellent choix pour les applications exigeantes de dépôt en couches minces.