Occasion LAM RESEARCH Sabre #9167356 à vendre en France

LAM RESEARCH SABRE est un type de réacteur de gravure de plasma conçu pour fournir des solutions avancées de gravure de plasma. Le système est l'un des premiers dans l'industrie à fournir des procédés plasma basse pression et haute pression dans la même machine, permettant aux clients d'économiser du temps et de l'argent. Le procédé de gravure haute pression est idéal pour des applications telles que la gravure par contact et par métal et le procédé de gravure basse pression est idéal pour la gravure de matériaux diélectriques. Le réacteur est un graveur à sec fini, ce qui signifie qu'il peut fournir des procédés de gravure à basse et haute pression sans avoir besoin de systèmes supplémentaires de distribution de gaz (GDS). SABRE offre une excellente uniformité à tous les niveaux de la plaquette, assurant des rendements plus élevés et des pièces de haute qualité. Il a également la technologie de quartet de coin qui fournit une meilleure qualité de produit sur de plus grandes géométries avec des étapes de processus minimales. LAM RESEARCH SABRE offre également des fonctionnalités telles que des taux de gravure rapides, un excellent contrôle et répétabilité des processus, un support intégré de base de données de processus, et la capacité d'être calibré pour différentes recettes en quelques minutes seulement. Le réacteur offre également une intégration complète avec les systèmes d'automatisation de niveau Fab tels que iMap, ce qui fait du système un choix parfait pour les machines automatisées. Le logiciel intégré ainsi que la fonction de chargement d'une seule plaquette (SWL) de SABRE permettent un débit et une flexibilité élevés avec une configuration et un fonctionnement plus faciles. La fonction SWL permet aux utilisateurs de choisir la température de la chambre de gravure appropriée, la pression cible, le débit de gaz de pré-remplissage et la recette du procédé. Cela permet aux utilisateurs de gagner un temps précieux et élimine le travail manuel. LAM RESEARCH SABRE est conçu pour améliorer la fiabilité, la stabilité et la productivité des processus. Il offre des temps de démarrage d'outils rapides et des recettes robustes qui permettent aux utilisateurs d'augmenter la productivité et de réduire les coûts. La base de données intégrée, le développement automatisé de recettes et la technologie du quartet de coin rendent le système facile à utiliser, fiable et flexible. C'est un excellent choix pour tous les besoins de gravure de plasma.