Occasion LAM RESEARCH Sabre #9200240 à vendre en France
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Vendu
ID: 9200240
Style Vintage: 2014
Wafer electroplating system
Size: 450 mm
2014 vintage.
LAM RESEARCH Sabre est un équipement de gravure de plasma à haute performance créé par LAM RESEARCH pour des applications semi-conductrices. Ce système utilise une chambre de processus multimode unique pour offrir une plus grande flexibilité de gravure et permettre aux clients d'obtenir une profondeur de gravure supérieure et une sélectivité élevée pour leur processus. La chambre Sabre utilise une conception avancée de cathode creuse qui est optimisée pour la gravure. Il est conçu pour offrir des taux de gravure élevés, des profils de gravure uniformes et une excellente sélectivité. L'unité est livrée avec un générateur RF robuste, permettant aux utilisateurs de configurer et d'ajuster rapidement les paramètres pour leur profil de gravure désiré. La machine peut être réglée pour fournir les performances optimales pour diverses recettes de gravure. Les utilisateurs peuvent également choisir parmi une variété de configurations de chambres, en fonction de leurs besoins. L'outil peut être configuré avec un seul ou double en-tête de douche à gaz, permettant aux clients de choisir la meilleure option pour leur application particulière. LAM RESEARCH La chambre de procédé Sabre utilise également la technologie LAM RESEARCH SureGrip™, qui permet un contrôle et une répétabilité précis des gravures. La chambre comprend également un collimateur à plasma actif, permettant d'améliorer l'homogénéité des gravures et la répétabilité des procédés. En outre, Sabre asset comprend un logiciel de contrôle des processus pour aider les utilisateurs à atteindre rapidement leurs objectifs de performance. RECHERCHE LAM Le modèle Sabre peut être utilisé pour divers processus de gravure, y compris la gravure profonde et peu profonde pour les caractéristiques de ratio d'aspect élevé. Il est idéal pour micromachining ultra-petites caractéristiques, et peut être utilisé pour la gravure sèche ou photorésist gravure. L'équipement dispose également d'une capacité de débit de gaz faible, permettant aux utilisateurs de graver avec une consommation de gaz minimale. Globalement, le réacteur Sabre de LAM RESEARCH est un système de gravure hautement capable, offrant une excellente performance de gravure et fiabilité. Son large éventail de configurabilité et de caractéristiques en font un excellent choix pour un certain nombre de processus semi-conducteurs, offrant aux utilisateurs une solution efficace pour leurs besoins.
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