Occasion LAM RESEARCH SOLA #9312000 à vendre en France

LAM RESEARCH SOLA est une technologie de réacteur de pointe conçue pour maximiser les performances de production des semi-conducteurs et le rendement des dispositifs. La technologie SOLA est un équipement de dépôt CVD amélioré par plasma (PECVD) qui offre une uniformité, une répétabilité et un contrôle de la vitesse de dépôt supérieurs. Le système est capable de fonctionner à basse pression pour obtenir des films de haute qualité avec une conformité exceptionnelle et une couverture d'étape. L'unité utilise quatre sources de gaz contrôlées indépendamment pour diverses configurations de dépôt. Un chronomètre avancé est incorporé pour une synchronisation précise entre tous les réactifs qui aide à contrôler le profil de croissance du film. La chambre de procédé peut également être configurée avec une gamme d'accessoires tels que des têtes de douche pour une distribution uniforme de gaz ou une gamme de modules d'injection pour permettre un dosage de gaz cible et source de haute précision. L'outil dispose également d'un atout de contrôle thermique avancé capable de chauffer/refroidir rapidement tout en conservant une homogénéité à basse température. Cela aide à obtenir des rendements élevés à partir de recettes de processus de dépôt fiables sans contrainte thermique inutile. Le modèle de contrôle thermique utilise une combinaison de chauffages infrarouges, de pompes turbomoléculaires et de cathodes froides pour gérer l'environnement du processus. En outre, l'équipement est équipé de nombreux systèmes de sécurité et de surveillance afin d'assurer un contrôle optimal des paramètres du processus et de protéger le personnel contre les risques potentiels. Le système comprend des détecteurs de fuites, des emboîtements et une gamme d'alarmes de contrôle de processus qui aident à maintenir un contrôle de processus fiable et le fonctionnement de l'unité de surveillance. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH SOLA est une technologie de pointe qui est fiable et répétable, offrant une uniformité supérieure, un contrôle de la vitesse de dépôt et une qualité de film. En raison de ses performances supérieures, SOLA est adapté à des applications dans un large éventail d'industries, de l'optoélectronique aux produits chimiques de spécialité.