Occasion LAM RESEARCH SOLA #9314232 à vendre en France

Le réacteur LAM RESEARCH SOLA est un outil de dépôt à l'échelle atomique à base de plasma, à la fine pointe de la technologie. Il est conçu principalement pour une variété d'applications de semi-conducteurs et d'ingénierie de surface telles que le dépôt de couches minces, la pulvérisation électrostatique et le dépôt de couches ultra-minces. Cet outil utilise une architecture NADSPL (Non-Activated Dual Source Dual Électrode Plasma) pour permettre un dépôt très précis et répétable de couches très minces (typiquement moins de 0,01 hyper nanomètre). Dans le SOLA basé sur le NADSPL, deux sources RF indépendantes sont utilisées pour produire deux sources de plasma distinctes ; une pour le procédé principal de dépôt, et une pour la gravure de la pièce. La conception de LAM RESEARCH SOLA offre une fonctionnalité mono-réacteur à double plasma dans un seul emballage, ce qui permet d'augmenter considérablement le débit du procédé. SOLA offre également un contrôle avancé de l'ionisation ainsi qu'une gamme de sources de plasma multi-puissance et multi-position. Les sources à plusieurs puissances permettent d'optimiser le profil des plaquettes sur l'ensemble du substrat, tandis que les sources à plusieurs positions permettent de contrôler avec précision les conditions du procédé pendant le processus de dépôt. LAM RESEARCH SOLA est livré avec les technologies les plus récentes, y compris une large gamme de capteurs spécialisés, des contrôles de température multi-capteurs, et l'équipement de codeur de la plus haute précision actuellement disponible. Ce système permet de placer avec précision le matériau dans la chambre de procédé pour faciliter la création de produits répondant à des normes élevées de qualité et de performance. SOLA dispose également d'une unité avancée pour atténuer la contamination des particules dans l'environnement. La machine comprend des pièges à particules, des filtres et des systèmes de contrôle de la composition des gaz de procédé. Cela garantit la sécurité du procédé tant pour les opérateurs que pour les produits finis fabriqués. Dans l'ensemble, l'outil LAM RESEARCH SOLA est un outil avancé pour le dépôt de films ultra-minces et d'autres matériaux complexes à l'échelle atomique. Il dispose d'une gamme de technologies de pointe qui améliorent la qualité des produits, réduisent les coûts de processus et réduisent au minimum le temps perdu.