Occasion LAM RESEARCH STRATA-GX #293654487 à vendre en France

Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
STRATA-GX
ID: 293654487
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2016
CVD System, 12" EFEM Gas box AC Rack Monitor 2016 vintage.
LAM RESEARCH STRATA-GX est un réacteur de nouvelle génération conçu pour le traitement du plasma dans des applications semi-conductrices et d'autres matériaux avancés. Le réacteur est de type chambre tandem, permettant un contrôle précis des conditions de production et de traitement du plasma. La première chambre abrite une gamme de propulseurs avancés, y compris une source d'ions, un neutraliseur et un faisceau neutre ; ces composants permettent la production de plasmas haute densité avec un rendement énergétique admirable. La deuxième chambre contient les composants primaires du procédé, tels que les électrodes, les parois, les boucliers et les cibles de gravure ou de dépôt. Le réacteur STRATA-GX est conçu avec une automatisation et un contrôle des processus conviviaux, dans le but d'offrir le plus haut niveau de performance et de sûreté possible. Tous les composants nécessaires, tels que les effecteurs finaux, les capteurs et les analyseurs, sont intégrés au réacteur pour garantir une performance optimale. Les algorithmes avancés de contrôle des processus permettent un ajustement précis en temps réel des paramètres du processus, maximisant la précision et la répétabilité. Le réacteur STRATA-GX de LAM RESEARCH présente également des diagnostics avancés pour garantir la qualité du processus plasmatique. Un ensemble de diagnostics, tels que la surveillance du courant du faisceau, la mesure de la température des électrons plasmatiques, l'analyse de la composition chimique et l'imagerie de surface du substrat, sont intégrés au système pour une vision complète des processus. La sûreté est également largement prise en compte avec le réacteur STRATA-GX. Le réacteur est équipé de diverses caractéristiques de sécurité, telles que les restrictions de température, la surveillance de la pression de la chambre et le confinement des risques plasmatiques. De plus, le réacteur est équipé d'une série de protocoles de sûreté sophistiqués pour détecter et répondre à tout risque potentiel. Le réacteur STRATA-GX de LAM RESEARCH est un système idéal pour de nombreuses applications de traitement de semi-conducteurs et de matériaux avancés, offrant des capacités de traitement avancées, une surveillance et un diagnostic précis des procédés, ainsi que des caractéristiques de sécurité complètes. Ce système fiable et éprouvé sur le terrain fournit des résultats de traitement du plasma pour les applications les plus exigeantes.
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