Occasion MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Exim #293609622 à vendre en France
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Vendu
ID: 293609622
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2017
PVD System, 12"
Process: MRAM
CIM: SEC
Fab section: Thin film
Handler: (4) Transfer Robots
Factory interface: (3) FOUP
Option: (4) PVD Chambers
Cool Chamber
Preclean Chamber
NESLAB SWX100 Heat exchanger
(2) UPS
(5) Cryo compressors
(2) Main MPD
2017 vintage.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Exim est un type de réacteur, en particulier un outil de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui est utilisé pour la mise au point de composants et de matériaux électroniques. Le réacteur est conçu pour fournir un environnement de chambre de processus de haute pureté, une large gamme de processus et un contrôle précis du processus. Le réacteur MRC Exim est principalement utilisé dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices et d'écrans plats. La famille de réacteurs TEL Exim se compose de trois types de machines, les XE100, XE200 et XE300, chacune conçue pour offrir des fonctionnalités différentes. Le XE100 est essentiellement un outil de plaquette unique, et est une plate-forme économique mais polyvalente qui offre plusieurs capacités de traitement par lots. Le XE200 est un peu plus complexe et est conçu pour des applications monobloc performantes telles que la gravure et le dépôt d'oxydes complexes. Enfin, le modèle XE300 est le plus avancé des trois, offrant une intégration avec les systèmes de contrôle des processus MRC et une capacité complète de traitement par lots. TOKYO ELECTRON Exim réacteur est principalement construit en acier inoxydable, selon les exigences des environnements de fabrication de semi-conducteurs robustes. La conception comprend une chambre de processus pour l'insertion et le traitement des plaquettes, ainsi que des ports pour la production de plasma, l'injection de produits chimiques, des éléments chauffants et l'évacuation des sous-produits. De plus, des dispositifs de sécurité sont utilisés pour protéger le personnel contre les matières dangereuses et les vapeurs produites au cours du processus. Le réacteur est conçu pour supporter une gamme de paramètres de processus, y compris le recuit thermique rapide, MOCVD, PECVD, gravure et processus de photoproduction. Ces procédés sont réalisés en introduisant les précurseurs chimiques nécessaires sous forme gazeuse, qui peuvent alors être rapidement chauffés et activés pour former le produit désiré. Grâce à la manipulation précise de la température, de la pression et des différents environnements gazeux dans la chambre, des composants et matériaux électroniques incroyablement précis et reproductibles peuvent être développés. La famille de réacteurs Exim est un outil très flexible et robuste qui peut être utilisé pour créer des composants et des matériaux électroniques très précis et fiables. Grâce à son large éventail de capacités et à son contrôle précis des procédés, ce réacteur est un outil inestimable pour toute installation moderne de fabrication de semi-conducteurs.
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