Occasion NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 #9358479 à vendre en France

NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 est un réacteur conçu pour aider au traitement des matériaux semi-conducteurs. Ceci est réalisé en combinant des gaz sources multiples avec un flux contrôlé de gaz environnant pour former les conditions plasmatiques souhaitées pour le dépôt de film désiré. NAURA EPEE 550 est capable de contrôler la pression, la température et le débit du gaz environnant ainsi que la composition des gaz sources pour le dépôt de films. Le réacteur a également la capacité d'émettre un gaz activé pour aider à des exigences de vitesse de dépôt plus agressives. AKRION EPEE 550 se compose d'une chambre à vide chargée de tout le matériel nécessaire à son fonctionnement. Un système externe de contrôle des gaz est inclus avec la chambre pour mélanger, contrôler et considérer l'écoulement des gaz dans la chambre. La chambre est équipée pour réguler les pressions de gaz entre 0-30 mTorr. Un thermocouple à l'intérieur de la chambre fournit une rétroaction au contrôleur, permettant un contrôle précis de la température de la chambre. Le système de contrôle de gaz externe accède à 4 conduites de gaz distinctes avec une capacité de mélange jusqu'à 5 gaz différents. Cela permet une large gamme de combinaisons de gaz pour divers procédés de dépôt. Enfin, un générateur haute fréquence est également inclus avec la chambre et permet l'activation et la manipulation des conditions plasmatiques. NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 fournit non seulement une solution de qualité au traitement des matériaux semi-conducteurs, mais aussi une grande répétabilité en ce qui concerne le procédé de dépôt de film proprement dit. Ceci est accompli par la capacité de la chambre à contrôler de façon cohérente la température, la pression et la composition du gaz tout au long du processus. De plus, l'EPEE 550 comprend également une source d'ammoniac qui permet d'effectuer des processus de dépôt plus agressifs de 8nm. En conclusion, NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 est un réacteur conçu pour aider au traitement des matériaux semi-conducteurs. Sa capacité à contrôler la pression, la température et le débit du gaz environnant, ainsi que la composition des gaz sources pour le dépôt de films, offre un degré élevé de répétabilité avec le processus de dépôt proprement dit. De plus, le générateur haute fréquence permet de réaliser des procédés de dépôt de couches minces encore plus rigoureux. Cela fait de NAURA EPEE 550 une solution idéale pour le traitement des semi-conducteurs.