Occasion NOVELLUS 02-134264-00 #293663402 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
02-134264-00
ID: 293663402
Taille de la plaquette: 8"
ESC Assy, 8".
NOVELLUS 02-134264-00 Reactor est un équipement de traitement plasma de pointe conçu pour des applications de gravure et de dépôt à haute performance. Ce réacteur de pointe utilise des sources de plasma ultra-haute puissance et un contrôle dynamique des processus, ce qui le rend adapté à une large gamme de substrats et de matériaux. 02-134264-00 Le réacteur est doté d'une plate-forme intégrée de contrôle du plasma, permettant une surveillance in situ précise des processus. Cette plate-forme surveille divers paramètres plasmatiques, tels que le courant ionique, la puissance RF, la température de la source, la distribution des réactifs, etc., afin d'assurer des opérations de gravure et de dépôt cohérentes. Pour faciliter encore l'optimisation des processus, la plate-forme de contrôle peut générer des fonctions de reporting en temps réel définies par l'utilisateur. En termes de compatibilité de substrat, le réacteur NOVELLUS 02-134264-00 est capable de graver et de déposer sur une large gamme de surfaces, y compris les métaux, les oxydes, les nitrures et les composites. La gamme de puissance dynamique du système assure une gravure et un dépôt fiables sur une variété de surfaces et de substrats. 02-134264-00 Le réacteur est également équipé de dispositifs de sûreté avancés. Son unité intégrée de sécurité des procédés surveille la température, la pression et la puissance du réacteur pour s'assurer que les opérations de traitement du plasma sont fiables et sûres. En outre, le réacteur est certifié UL, garantissant qu'il satisfait à toutes les exigences de sûreté. Pour sa conception physique, NOVELLUS 02-134264-00 Reactor est conçu avec un réseau de distribution radiale de gaz miniature de haute précision. Ce réseau de distribution très efficace assure une bonne répartition de la charge plasmatique dans l'enceinte pour une performance et une fiabilité optimales. Le réacteur présente également une construction modulaire et une faible empreinte, ce qui le rend facile à installer et à entretenir. En résumé, le réacteur 02-134264-00 est une machine avancée de traitement du plasma conçue pour les applications de gravure et de dépôt. Sa plate-forme intégrée de contrôle du plasma assure une surveillance des processus in situ précise. Sa compatibilité substrat et sa gamme de puissance dynamique permettent des opérations de gravure et de dépôt fiables dans un large éventail de matériaux. Le réacteur est également équipé de dispositifs de sécurité avancés pour assurer une sécurité optimale pour les opérations de traitement du plasma. Enfin, son réseau de distribution radiale de gaz de haute précision et son faible encombrement rendent cette unité facile à installer et à entretenir.
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