Occasion NOVELLUS 02-267288-00 #293657512 à vendre en France

NOVELLUS 02-267288-00 est un réacteur qui est utilisé dans le processus de gravure dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce type de réacteur est spécialement conçu pour assurer une vitesse de gravure rapide et précise avec uniformité et reproductibilité à travers les zones gravées. Le réacteur 02-267288-00 est utilisé pour éliminer les matériaux déposés, ainsi que pour mettre un motif précis sur le substrat. Le réacteur est une machine à quatre sections, qui comprend la chambre de verrouillage de charge, la chambre de remplissage, la chambre à plasma et la chambre d'échappement. La chambre de verrouillage de charge charge et décharge le substrat en position pour le processus de gravure du plasma. La chambre de remplissage remplit la chambre de plasma avec les gaz de gravure spécifiés, avec un contrôle précis du volume pour assurer une bonne uniformité et la reproductibilité du procédé. La chambre à plasma fonctionne sous haute pression, ultra-froid pour fournir des taux de gravure de haute uniformité. La chambre d'échappement contient des chicanes d'échappement spécialisées pour contenir le dépôt de plasma à l'intérieur de la chambre. Le réacteur NOVELLUS 02-267288-00 est capable de traiter un large éventail de substrats, y compris le silicium, les métaux, les nitrures et d'autres matériaux. Le réacteur est également capable de traiter avec précision les substrats avec des caractéristiques aveugles ou enterrées. Cela permet de préserver le motif de conception et de maintenir des taux de gravure exacts sur toutes les zones du substrat. Le réacteur utilise des poudres haute fréquence pour générer un champ électromagnétique alternatif, qui crée un plasma. Ce plasma est ensuite utilisé pour graver le substrat avec la vitesse de gravure exacte souhaitée. Le réacteur est conçu pour graver avec précision jusqu'à l'échelle du nanomètre, permettant l'élimination propre et reproductible du matériau. Pour maintenir un contrôle précis du processus de gravure, le réacteur 02-267288-00 est également capable de surveiller des paramètres critiques tels que la température, la pression et la puissance RF. Le réacteur peut également détecter des anomalies de processus telles que des instabilités plasmatiques ou des déséquilibres chimiques. En cas d'anomalie de procédé, le réacteur peut prendre des mesures correctives pour assurer une vitesse de gravure stable et uniforme. Dans l'ensemble, le réacteur NOVELLUS 02-267288-00 est un outil fiable et robuste pour la gravure des semi-conducteurs. La vitesse de gravure uniforme et le contrôle précis du motif de conception garantissent que le motif de conception est préservé avec une grande fiabilité. Le réacteur est capable de graver avec précision avec une précision nanométrique et peut détecter toute anomalie de procédé afin de prendre rapidement des mesures correctives.