Occasion NOVELLUS Altus Chamber #9204833 à vendre en France

NOVELLUS Altus Chamber est un réacteur de gravure révolutionnaire conçu pour réaliser des procédés de haute qualité dans les unités de fabrication de semi-conducteurs (Fabs) des fonderies de puces. Ce réacteur est capable de fournir des paramètres de gravure optimaux pour fabriquer des puces plus complexes et de plus petite taille allant de 0,21 à 65nm de grille. La caractéristique de cette chambre est sa conception entièrement symétrique qui assure l'uniformité des résultats de gravure sur toute la surface de la plaquette, quelle que soit leur orientation. Cette conception symétrique est alimentée par la technologie du champ électromagnétique, et est capable de maintenir une vitesse de gravure constante. Les avantages d'Altus Chamber sont : un débit élevé, un faible coût de propriété et une grande adaptabilité. Il est équipé des dernières sources de plasma et des derniers contrôleurs, capable de produire des gravures de faible puissance avec une grande uniformité et performance--efficience jusqu'à 400 plaquettes/heure, et plus de 30 % de réduction du taux de gravure des PCB. La chambre peut être configurée pour traiter plusieurs types de plaquettes simultanément, ce qui la rend bien adaptée à la production multi-applications. De plus, la chambre est conforme aux normes internationales et la pression et la température à l'intérieur de la chambre peuvent être contrôlées avec précision à tout moment. La chambre utilise des générateurs RF à double fréquence, également appelés induction RF. Ceci permet à la chambre d'atteindre une densité plasmatique élevée sans compromettre la vitesse de gravure ou l'uniformité. De plus, la chambre dispose d'un système de calibration intelligent qui optimise automatiquement les paramètres de taille des plaquettes pour chaque substrat. Le contrôleur permet un large niveau de suivi et de contrôle des processus, et fournit une interface conviviale pour la création et le réglage de recettes spécifiques aux applications. En outre, la chambre dispose également d'un système de sécurité pour assurer la sécurité de ses opérations. Ce système est surveillé par des capteurs qui surveillent les paramètres physiques et chimiques tels que la pression et la température. La chambre dispose également de mécanismes de sécurité en cas de défaillance pour prévenir des conditions anormales telles que des fuites de gaz et des explosions potentielles. NOVELLUS Altus Chamber est une chambre de gravure puissante adaptée à une utilisation dans des lignes de production de puces modernes. Le taux de gravure élevé et le faible coût de possession en font un choix parfait pour de nombreuses fonderies de puces, et sa conception entièrement symétrique assure l'uniformité du processus tout en étant en mesure de traiter plusieurs types de plaquettes simultanément. Cette chambre dispose d'une excellente interface utilisateur, ce qui rend facile pour les ingénieurs de configurer et d'ajuster efficacement les recettes. Les capteurs de sécurité et les protocoles garantissent que toutes les opérations sont effectuées en toute sécurité, ce qui fait d'Altus Chamber une solution fiable et optimale pour tous les besoins de fabrication de semi-conducteurs.