Occasion NOVELLUS Altus #9261414 à vendre en France

NOVELLUS Altus est un enrobeur de dépôt haute performance de nouvelle génération conçu pour les procédés avancés de dépôt et de gravure de matériaux. Il utilise une architecture unique et avancée pour fournir des taux de dépôt de matériaux ultra-élevés et un contrôle de processus supérieur. La plateforme Altus est conçue pour la fabrication de FinFET, MEMS, NAND 3D et d'autres structures complexes. NOVELLUS Altus peut déposer et modeler des couches avec une grande uniformité d'épaisseur de film, ainsi que des caractéristiques de gravure avec une précision et une répétabilité élevées. L'équipement Altus combine matériel et logiciel pour fournir des paramètres matériels précis, un contrôle de processus supérieur et une uniformité exceptionnelle. Le système dispose de matériel de lithographie et de gravure, ainsi que de modules de dépôt avancés. Il utilise une conception innovante de réacteur séquentiel à deux étages, utilisant à la fois des mécanismes rotatifs et linéaires pour permettre une rotation à grande vitesse des bobines. Ceci permet une grande maîtrise du processus de dépôt, tout en permettant une plus grande uniformité des propriétés des matériaux. L'unité peut également être configurée pour différents types de films, y compris conformal, re-sputter et shadowing. Il utilise un processus de mesure unique en deux étapes pour fournir une uniformité d'épaisseur de film vraiment précise. De plus, l'étape de dépôt conforme permet de créer des formes tridimensionnelles aux dimensions finement contrôlées. La plate-forme NOVELLUS Altus dispose également d'une machine d'alignement rapide et précise pour l'enregistrement précis des films, et d'un bateau de dépôt propriétaire à architecture avancée pour une uniformité de revêtement supérieure. Il a également une capacité de débit de film à grande vitesse, de sorte que même les grandes couches peuvent être traitées rapidement et avec précision. En plus de ses composants matériels, l'outil Altus utilise des logiciels propriétaires pour contrôler le processus de dépôt. Le logiciel offre des options pour le chargement automatique des pellicules, l'optimisation de la pompe intelligente, l'enregistrement des fonctionnalités et de nombreuses autres fonctionnalités adaptées aux exigences de chaque processus spécifique. NOVELLUS Altus est un produit révolutionnaire qui offre aux utilisateurs la puissance de procédés de dépôt et de gravure de haute précision, de haut débit et de haute uniformité. Son architecture avancée lui permet de gérer un large éventail de processus pour la fabrication des produits électroniques les plus avancés.