Occasion NOVELLUS C3 WTS #9240252 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
C3 WTS
ID: 9240252
Style Vintage: 2004
HDP CVD System 2004 vintage.
NOVELLUS C3 WTS est un réacteur de traitement thermique haute performance qui permet une production rentable et efficace des derniers appareils microélectroniques. Il s'agit d'un réacteur thermique avancé qui peut fournir jusqu'à trois fois le débit et la qualité d'autres réacteurs de la même classe. C3 WTS a un volume de chambre supérieur à 3 pieds cubes et permet le traitement thermique rapide d'un substrat à des températures allant jusqu'à 900 ° C Il est basé sur un équipement vertical multi-zone de flux de gaz qui utilise de l'azote à haute vitesse pour assurer un contrôle précis de la température. NOVELLUS C3 WTS intègre un système de régulation de température avancé avec une unité de rétroaction en boucle fermée et une machine de restriction de débit de gaz multiple, permettant une segmentation précise de la zone de température. Son revêtement de chambre en céramique est très durable et peut résister à une exposition à long terme à une large gamme de températures. L'isolation intégrée est conçue pour minimiser la perte de chaleur, en assurant des opérations de processus efficaces et des températures stables. C3 WTS intègre également des technologies avancées de contrôle des processus, y compris une foule de capteurs pour surveiller et permettre les opérations de maintenance prédictive. Ce réacteur comprend également des fonctions telles que le nettoyage automatisé, la collecte de données, l'analyse des tendances, l'optimisation du cycle et le suivi des échantillons. Le réacteur est équipé d'un contrôle de procédé avancé permettant un contrôle exact de la température et de l'uniformité. Ceci garantit une performance et une répétabilité cohérentes pour tous les substrats traités dans NOVELLUS C3 WTS. Il utilise également des régulateurs de température numériques avancés conçus pour fournir une précision et des performances stables. Dans l'ensemble, le C3 WTS est un réacteur de traitement thermique à haute performance conçu pour produire de façon efficace et rentable les dispositifs microélectroniques les plus récents. Son outil de régulation de température avancé assure un contrôle précis de la température et une uniformité, tandis que ses capteurs intégrés permettent des opérations de maintenance prédictives et une durabilité à long terme. Avec des performances fiables, des opérations efficaces et de multiples fonctions de contrôle des processus, NOVELLUS C3 WTS est un atout précieux pour toute installation de traitement microélectronique moderne.
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