Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 #9093687 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2
ID: 9093687
Taille de la plaquette: 8"
Chamber, 8" Facility and Interface: Altus module locations: Dual: Port 2 and 3 WTS (backbone) facilities connection configuration: Bottom facilities installation Remote interconnect cables: 75 feet Modular power distribution [MPD, DUAL, ALTUS, C2PDP]: 01-298450-11 DLCM-S: ROBOT ASSY, MAG7, BISYMMETRIK ARM, DLCM: 02-262359-00 Transfer module to chamber valve (SMC Valve): 02-121427-00 Throttle valve kit, DLCM-S: 04-048579-02 Loadlock gate valve, SMC: 02-133799-00 Readiness kit: Dual altus ready Software/Controls: Module controller type: 02-272554-00, MC3 System controller type: 02-267883-00, MC3 System software (QNX): 5.1 DLCM-S IOC: 0 - IOC - 4.1 2 - IOC - 4.1 3 - IOC - 4.1 Altus IOC: 0 - SIOC - 4.30 1 - SIOC - 4.30 2 - SIOC - 4.30 3 (MPD) - SIOC - 4.10 Chase UI Kit: 02-117110-00 Process Chamber configuration: SHWRHD, 200 mm, Style B: 03-00258-00 ASSY, PED, 200 mm MOER, D.3, SEMI: 02-033134-01 EXCL RING, 200 mm, 2.0 mm OH SEMI: 15-032777-00 Indexer plate, HUB: 15-034848-00 INDEXCER, WF, EXCL, OPTION, 200 mm: 15-00934-02 Spindle assembly: 02-126697-00 OPT ENDPT DET'R, MSTR, ALT-S: 04-0120458-00 Throttle Valve MKS (Pressure control valve): 27-250285-00 Gate valve, vat: 60-10015-00 Gas box configuration (CESCVD02177B): Manifold A 1: Aera FC-7800CD, AR/2 SLM Manifold A 3: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM Manifold B 6: Aera FC-7800CD, C2F6/2 SLM Manifold B 7: Aera FC-7800CD, O2/2 SLM Manifold D 2: Aera FC-7800CD, SiH4/100 SCCM Manifold H D: Aera FC-7800CD, Ar/20 SLM Manifold W 4: Aera FC-7800CD. AR/20 SLM Manifold W 5: Aera FC-7800CD, WF6/1 SLM Manifold C 8: Aera FC-7800CD, Ar/10 SLM Manifold C 9: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM Baratron: Altus, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00 Altus, CAP MANOMETER, HEATED 10 TORR: 27-10343-00 Altus, Backside, CAP MANOMETER< HEATED 100 TORR: 27-10340-00 DLCM-S, LOADLOCK, CAP MANOMETER, HEATER 100 TORR: 27-10340-00 DLCM-S, TM, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00 Supporting remote units: (1) Process pump per process chamber: BOC Edwards, IH1000 - x2 for process pump typical (1) Pedestal pump per process chamber: BOC Edwards, i80 - x2 for pedestal pump typical (1) TM pump per system: BOC Edwards, i80 - x1 for TM pump typical (1) LL pump per system, BOC Edwards, i80, x1 for LL pump typical.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 est une version double fréquence et double source de la plate-forme NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor. Ce réacteur est supervisé par un moniteur à panneaux plats à deux étages et un équipement de contrôle modulaire, ce qui le rend très efficace et facile à gérer. Il dispose de deux sources d'énergie haute fréquence réglables séparément, permettant une large gamme de contrôle de processus. Il dispose de capacités de contrôle de vitesse avancées qui permettent de contrôler le processus de précision et l'uniformité sur la plaquette. Ce réacteur a également la capacité d'effectuer des réglages précis de la température et du débit de gaz, ce qui permet de répondre aux exigences précises du procédé pour les dépôts spécialisés en couches minces. Le réacteur CONCEPT 2 Altus 2 est basé sur le procédé traditionnel à couplage inductif de plasma. C'est un réacteur planaire à base de II-V à source unique, à basse pression, qui utilise l'auto-polarisation pour induire le plasma. Le système fonctionne à deux fréquences ; 13,65 MHz pour la source inférieure et 27,3 MHz pour la source supérieure. La configuration à double fréquence permet un meilleur contrôle du processus et des performances améliorées. Les deux configurations de fréquence permettent également l'utilisation de flux gazeux multiples, permettant un contrôle précis des processus de dépôt. Le moniteur et l'unité de contrôle intégrés au panneau sont conviviaux et efficaces. Il offre un contrôle étroit du processus de dépôt grâce à une surveillance complète du processus et une manipulation simplifiée des paramètres. Le port du substrat multichauffé permet une flexibilité maximale lors du développement des processus. Il dispose de fonctions de sécurité intégrées qui permettent à l'opérateur de se prémunir contre les changements indésirables de processus dus aux erreurs de l'opérateur ou aux changements d'équipement. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 fournit aux utilisateurs une machine fiable et efficace pour mener des études de recherche avancées. Il est doté d'une conception flexible et modulaire qui permet un prototypage rapide et une production à l'échelle du laboratoire. Son outil de contrôle complet garantit que les processus sont menés selon les spécifications les plus strictes. Ce réacteur à la fine pointe de la technologie est continuellement modernisé afin de répondre aux besoins et technologies les plus récents de l'industrie de la fabrication d'IC. CONCEPT 2 Le réacteur Altus 2 est un outil fiable et efficace pour fabriquer divers types de structures en couches minces.
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