Occasion NOVELLUS Concept 2 DLCM S #293762169 à vendre en France
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NOVELLUS Concept 2 DLCM S est un réacteur monocouche haute performance qui fournit une solution idéale pour la personnalisation et l'optimisation des procédés avancés de production de semi-conducteurs. La chambre du réacteur est conçue pour fournir un faible coût, des performances de gravure quasi uniformes, en utilisant des techniques de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de gravure sèche. L'équipement offre une flexibilité maximale en quantité et en qualité des étapes et des processus. Concept 2 Le DLCM S est doté d'une seule chambre de chargement en plaquettes qui est conçue pour fournir des débits plus élevés et des dépôts de matériaux plus uniformes que les réacteurs classiques. Il dispose d'un design compact avec la plus petite empreinte disponible, en plus des options matérielles et logicielles modulaires pour une personnalisation facile et l'optimisation des processus. Le système intègre également des technologies de pointe telles que le contrôle de la rétroaction en temps réel, un contrôleur intégré basé sur PC, une unité de surveillance et de contrôle compatible avec le Web, et une machine d'enregistrement de données et de tendance. NOVELLUS Concept 2 DLCM S utilise des sources de plasma innovantes qui permettent à l'outil de contrôler les variables de traitement avec plus de précision et de précision. L'actif optimise les processus réactifs de gravure ionique et de dépôt chimique en phase vapeur avec une précision et une uniformité supérieures. La température de l'échantillon est automatiquement surveillée et maintenue, ce qui permet au modèle d'appliquer des matériaux avec précision et de façon répétée sur la surface de la plaquette. Les fonctions de contrôle automatisé du processus de l'équipement aident à fournir des résultats cohérents, même dans des conditions variables. Concept 2 DLCM S dispose de capacités avancées de surveillance des processus qui permettent à l'utilisateur de surveiller et de contrôler le processus en temps réel. L'interface graphique utilisateur intégrée fournit un moyen fiable et simple de visualiser les paramètres du processus, les alarmes et les données de performance du processus. L'unité d'enregistrement et de tendance des données du système aide les utilisateurs à identifier et à analyser rapidement les questions liées au processus. Dans l'ensemble, NOVELLUS Concept 2 DLCM S est un réacteur modulaire de pointe conçu pour un traitement précis et cohérent des plaquettes simples avec une flexibilité maximale. Le réacteur offre un contrôle de haute précision, uniformité et débit, ce qui en fait le choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs.
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