Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9281506 à vendre en France

Le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express (DSX) est un équipement spécialisé, à double chambre, monocouche de traitement conçu spécifiquement pour des applications nécessitant une haute précision, répétabilité et contrôle. La conception prévoit deux chambres distinctes, avec des dépôts isolés et d'autres systèmes de traitement, capables de fonctionner indépendamment ou simultanément. Le réacteur DSX offre l'un des niveaux de contrôle et de précision les plus élevés parmi tous les outils de procédé. Cela se fait principalement grâce à des technologies avancées de gestion des matériaux et de contrôle des processus, y compris des contrôleurs moteurs multiples et indépendants qui assurent un contrôle précis du mouvement des plaquettes et des étapes de processus. En outre, le DSX peut détecter des caractéristiques de wafer jusqu'à 45nm de résolution avec des perturbations d'échantillons minimes, et son contrôleur de chambre à vide avancé peut précisément surveiller et maintenir des conditions de basse pression en temps réel. Le réseau DSX est conçu pour optimiser le nombre de cycles d'uniformité de processus et les étapes de processus de contrôle. Sa capacité d'optimisation des recettes permet à l'utilisateur de modifier et de ré-optimiser les recettes à l'exécution. Cela permet à l'utilisateur de contrôler au maximum l'uniformité et la cohérence du processus lors de l'ajustement des paramètres du processus en temps réel. Le réacteur DSX offre également de multiples outils de procédé, tels que la gravure humide, la gravure sèche et le dépôt chimique/physique en phase vapeur (CVD/PVD). Son système de gravure humide peut traiter jusqu'à 10 produits chimiques différents dans une seule gousse ou cuve, ce qui permet un rendement maximal et une uniformité de traitement. Le module CVD/PVD est idéal pour des vitesses de dépôt de matériaux élevées et un contrôle précis afin d'obtenir une structure de dispositif très uniforme. L'unité DSX nécessite un entretien périodique, y compris des activités telles que la vérification des conduites de gaz, l'installation et la reconstitution de produits chimiques et la configuration générale des machines. Au cours de ce processus, un technicien devrait veiller tout particulièrement à vérifier l'intégrité de la chambre et des lignes de traitement avant de passer à l'étape suivante. Pour assurer la sécurité des opérateurs, la DSX offre une protection contre les vapeurs, les étincelles et les incendies potentiellement dangereux, et dispose d'un outil de surveillance embarqué pour vérifier la présence de gaz et de particules. Bref, le réacteur CONCEPT 2 Dual Sequel Express (DSX) est un outil de traitement innovant, à double chambre, monocouche, conçu pour fournir des processus très précis et reproductibles avec un contrôle maximal. Ses contrôleurs moteurs et sous vide avancés, ses capacités de gestion des matériaux, son optimisation des recettes et ses outils de traitement offrent aux opérateurs une plateforme puissante et fiable pour assurer un traitement cohérent et réussi.