Occasion NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9314381 à vendre en France

ID: 9314381
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
CVD System, 8" Mainframe Gas box: Standard with dual divert Robot: Express dual blade Cool down: 3 Slots Endpoint: Dual wavelength endpoint Sequel chamber: Sequel express TEOS Sigma 6 TEOS Cabinet (2) Speed chambers PFEIFFER 1600L Turbo 2000 vintage.
NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel (également connu sous le nom de C2DSS) est un réacteur conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Il utilise une architecture propriétaire à double vitesse pour fournir un contrôle de processus supérieur, en particulier avec des matériaux très difficiles. Le C2DSS est un équipement de réaction chimique à haute efficacité, multi-zones et à contrôle numérique qui permet un contrôle précis de la température, du processus et de l'évolutivité. Le système dispose également d'un contrôle vectoriel avancé de tous les paramètres de réaction. Le C2DSS a une architecture à deux vitesses, permettant à l'opérateur de changer entre deux vitesses de processus différentes selon l'application. Cela permet un débit plus élevé sans sacrifier le contrôle du processus. Cela aide dans les applications où les caractéristiques physiques et les propriétés matérielles complexes doivent être contrôlées avec précision. L'unité comprend également la surveillance et le contrôle de la température, le réglage automatique de la pression et le contrôle dynamique de la puissance pour la conservation de l'énergie. Le C2DSS est conçu pour un large éventail de procédés de dépôt et peut traiter divers matériaux, y compris le silicium, le siliciure et les matériaux multicouches. Sa conception sophistiquée permet également une excellente uniformité et un contrôle de processus en boucle fermée. De plus, la machine dispose de fonctions de sécurité intégrées, y compris des emboîtements de processus, l'arrêt automatique et des moniteurs de vibrations. Le contrôle avancé de la température du C2DSS permet d'atteindre des températures très élevées allant jusqu'à 1000˚C tout en conservant une homogénéité et une homogénéité optimales. Cela permet des processus thermiques tels que la gravure en phase gazeuse, la gravure sèche et l'épitaxie CVD. L'outil dispose également d'un actif avancé de recirculation des gaz qui assure une stabilité de réaction et une sécurité maximales pendant le fonctionnement. Le C2DSS est facile à utiliser et peut être reconfiguré rapidement pour différents besoins d'application. En outre, il est livré avec une large gamme d'accessoires et est compatible avec divers logiciels de contrôle de processus assistés par ordinateur (CPC). Le modèle est polyvalent et peut être utilisé pour le développement technologique, l'optimisation des processus, l'intégration des processus et la production. Globalement, le Concept 2 Dual Speed Sequel (C2DSS) est un réacteur puissant et polyvalent conçu spécifiquement pour le traitement des semi-conducteurs. Son architecture à deux vitesses, son contrôle avancé de la température et la manipulation efficace de différents matériaux en font une solution fiable et précise pour une variété d'applications.
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