Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #9096020 à vendre en France

Le CONCEPT 2 de NOVELLUS la Vitesse Double est une haute performance conduite du gaz le réacteur développé par NOVELLUS Systems, Inc.to rencontre une variété de semi-conducteur industriel les exigences industrielles. Le réacteur est conçu pour traiter les produits de wafer à haut volume dans un système continu et offre deux vitesses de fonctionnement. La version Dual Speed comprend deux ensembles de chambres qui peuvent exécuter à la fois des processus à basse pression de longue durée et des processus à haute pression de plus courte durée. La configuration à deux vitesses permet un débit maximum et la flexibilité dans le traitement des plaquettes. Il utilise une technologie de procédé à fluxation gazeuse à haut rendement, qui est capable d'atteindre des pressions de chambre extrêmement faibles en raison de la faible charge en gaz. Le système de gaz en boucle fermée est conçu pour réduire la consommation de gaz liée au processus et les coûts d'exploitation. Le réacteur est équipé de systèmes cryogéniques avancés pour aider à maintenir un contrôle de haute précision sur les températures des plaquettes. Le Dual Speed comprend également un contrôle intégré du débit pour optimiser l'environnement du réacteur et assurer un contrôle précis du processus. La conception du réacteur repose sur une architecture modulaire. La taille maximale de la chambre est de 22ins x 14ins avec un total de 8 chambres, permettant un traitement efficace des plaquettes tout en utilisant un espace minimal. Chaque chambre peut contenir jusqu'à 16 plaquettes de 4 pouces ou 8 plaquettes de 6 pouces pour augmenter la capacité de fabrication. Chaque chambre est également équipée d'un régulateur de température dédié et d'un débit précis de gaz pour un contrôle optimal du processus. Le réacteur à double vitesse CONCEPT 2 dispose également d'une robotique intégrée pour la manutention sans soudure des plaquettes. Le bras robot est programmé avec une interface utilisateur intuitive, permettant un fonctionnement facile et des temps de transfert de plaquettes rapides. Le bras du robot dispose d'une zone de stockage centralisée et peut gérer simultanément jusqu'à 48 plaquettes par cycle. Dans l'ensemble, le réacteur à double vitesse NOVELLUS CONCEPT 2 est un puissant système à gaz perfectionné conçu pour répondre aux exigences de fabrication de semi-conducteurs industriels. Avec un fonctionnement à deux vitesses, une gestion efficace de l'espace, un contrôle sophistiqué de la température, un débit précis de gaz, une interface utilisateur intuitive et une robotique intégrée, ce réacteur a la capacité de satisfaire des exigences rigoureuses de traitement des plaquettes.